冷場發(fā)射電子顯微鏡的優(yōu)點(diǎn)為電子束直徑小,亮度高,因此影像分辨率優(yōu)。能量散布小,故能改善在低電壓操作的效果。為避免針尖被外來氣體吸附,而降低場發(fā)射電流,并使發(fā)射電流不穩(wěn)定,冷場發(fā)射式電子槍必需在10-10torr的真空度下操作,雖然如此,還是需要定時(shí)短暫加熱針尖至2500K,以去除所吸附的氣體原子。它的另一缺點(diǎn)是發(fā)射的總電流小。
電子顯微鏡通過發(fā)射電子與樣品相互作用成像,用來“照射”樣品的可靠電子源是電鏡最重要的部分之一。電子顯微鏡對電子束的要求非常高。目前只有兩種電子源滿足要求:熱電子發(fā)射源和場發(fā)射電子源。目前商用的,熱電子發(fā)射源用的是鎢燈絲(較少見)或六硼化鑭([公式])晶體(較常見);場發(fā)射電子源用的是很細(xì)的針狀鎢絲(具體分為肖特基發(fā)射源和冷場發(fā)射源)。
一、主要特點(diǎn):
1、配備加速電壓減速功能,具有優(yōu)秀的低加速電壓成像能力,1kV分辨率可達(dá)0.8nm,15kV達(dá)到0.7nm,高低電壓均可滿足高分辨的觀察。
2、E×B技術(shù),無需噴鍍,可直接觀測不導(dǎo)電樣品。
3、放大倍數(shù)范圍為20-1000K倍。
4、最大兼容4英寸樣品。
5、具有EDS功能。
二、主要用途:
冷場發(fā)射電子顯微鏡主要用于工藝過程中,光刻、刻蝕等工藝監(jiān)控及表面微區(qū)的成分分析。
隨著電子顯微技術(shù)的蓬勃發(fā)展,掃描電子顯微鏡因其圖像分辨率高、景深長、圖像更富立體感、放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬等優(yōu)點(diǎn),已在自然科學(xué)研究領(lǐng)域獲得廣泛應(yīng)用,并對科學(xué)技術(shù)的發(fā)展有著巨大的推動(dòng)作用。
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