例:潔凈室面積為80m2,要求的潔凈度為5級(jí),并要求對(duì)于0.3um和0.5um兩種粒徑的微粒進(jìn)行檢測(cè),應(yīng)該如何進(jìn)行?
1、檢測(cè)操作前的準(zhǔn)備
(1)判斷規(guī)定的被檢微粒的粒徑是否在5級(jí)粒徑限值之內(nèi)。0.3um和0.5um介于0.1um和5um之間,所以規(guī)定的被檢微粒在5級(jí)粒徑限值之內(nèi)。
(2)判斷規(guī)定的被檢微粒相鄰的較大粒徑是否不小于較小粒徑的1.5倍。
0.3*1.5=0.45,0.5>0.45,符合要求。
(3)計(jì)算微粒最大允許濃度,計(jì)算公式為:
計(jì)算結(jié)果:
1)對(duì)于粒徑不小于0.3um的微粒,最大允許濃度為10200pc/m3。
2)對(duì)于粒徑不小于0.5um的微粒,最大允許濃度為3520pc/m3。
(4)計(jì)算最少采樣點(diǎn)數(shù)。計(jì)算結(jié)果:最少采樣點(diǎn)數(shù)為9個(gè)。
(5)計(jì)算單次測(cè)定的最少采樣量,計(jì)算結(jié)果:
對(duì)于不小于0.3um的微粒,a=10200pc/m3,代入公式:

檢測(cè)如下:
2、數(shù)據(jù)處理
因?yàn)椴蓸狱c(diǎn)數(shù)小于10,所以應(yīng)該考慮95%置信度的微粒濃度的上限。
(1)每個(gè)采樣點(diǎn)的平均值。每個(gè)采樣點(diǎn)只采樣一次,所以每個(gè)采樣點(diǎn)的一次測(cè)得值可以作為該點(diǎn)的平均值。
(2)總平均值
1)對(duì)于不小于0.3um的微粒:總平均值為6349 pc/m3。
2)對(duì)于不小于0.5um的微粒:總平均值為706 pc/m3。
(3)采樣點(diǎn)平均值的標(biāo)準(zhǔn)偏差
1)對(duì)于不小于0.3um的微粒:2154
2)對(duì)于不小于0.5um的微粒:382
(4)計(jì)算置信上限。置信度取95%,采樣點(diǎn)數(shù)m=9,從t分布表中查出t值為1.9。
1)對(duì)于不小于0.3um的微粒:

2)對(duì)于不小于0.5um的微粒:
3、檢測(cè)結(jié)果的判斷
1)對(duì)于不小于0.5um的微粒,a=3520pc/m3,代入公式:

2)采樣條件要求單次采樣量不小于2L。
3)采樣條件要求單次采樣時(shí)間不小于1min。
4、檢測(cè)操作
(1)根據(jù)檢測(cè)條件要求,可選用28L/min光散射氣浮微粒測(cè)定儀進(jìn)行檢測(cè)。
(2)每個(gè)采樣點(diǎn)只采樣一次,檢測(cè)結(jié)果見(jiàn)下表。每點(diǎn)測(cè)得的微粒數(shù)值均滿(mǎn)足潔凈度級(jí)微粒數(shù)均滿(mǎn)足潔凈度級(jí)別的要求,95%置信的微粒濃度的上限也滿(mǎn)足潔凈度級(jí)別的要求,所以該潔凈室的級(jí)別度符合要求。
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