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敞開式直線光柵尺
敞開式直線光柵尺設(shè)計(jì)用于對測量精度要求*的機(jī)床和系統(tǒng)。
典型應(yīng)用包括：
· 半導(dǎo)體業(yè)的測量和生產(chǎn)設(shè)備
· PCB電路板組裝機(jī)
· 超高精度機(jī)床
· 高精度機(jī)床
· 測量機(jī)和比較儀，測量顯微鏡和其它精密測量設(shè)備
· 直驅(qū)電機(jī)
絕對式編碼器
系列 | 說明 |
LIC | LIC敞開式直線光柵尺能夠?qū)π谐踢_(dá)28 m和高速運(yùn)動進(jìn)行絕對位置測量。其尺寸和安裝方式與LIDA 400相同。 |
輸出位置值的編碼器
系列 | 說明 |
LIP 200 | LIP 211和LIP 291增量式直線光柵尺輸出位置值的位置信息。正弦掃描信號在讀數(shù)頭中被高倍頻細(xì)分且其計(jì)數(shù)功能將細(xì)分的信號轉(zhuǎn)換成位置值。與所有增量式編碼器一樣，借助參考點(diǎn)確定絕對原點(diǎn)。 |
增量式編碼器
系列 | 說明 |
LIP | 超高精度 LIP敞開式直線光柵尺擁有極小的測量步距，*的精度和重復(fù)精度。掃描方式為干涉掃描，測量基準(zhǔn)為DIADUR相位光柵。 |
LIF | 高精度 LIF敞開式直線光柵尺的測量基準(zhǔn)是SUPRADUR工藝制造的玻璃基體光柵，采用干涉掃描方法。特點(diǎn)是精度高和重復(fù)精度高，安裝特別簡單，有限位開關(guān)和回零軌。特殊型號的LIF 481 V可用于10–7 bar的真空環(huán)境中（參見其單獨(dú)“產(chǎn)品信息”）。 |
LIDA | 高速運(yùn)動和大測量長度 LIDA敞開式直線光柵尺特別適合運(yùn)動速度達(dá)10 m/s的高速運(yùn)動應(yīng)用，支持多種安裝方式，安裝特別簡單。根據(jù)相應(yīng)應(yīng)用要求，METALLUR光柵的基體可為鋼帶，玻璃或玻璃陶瓷。也有限位開關(guān)。 |
PP | 二維坐標(biāo)測量 PP二維編碼器的測量基準(zhǔn)是平面DIADUR工藝制造的相位光柵，采用干涉掃描方法。用于測量平面中位置。 |
LIP/LIF | 高真空和超高真空技術(shù) 我們的標(biāo)準(zhǔn)編碼器適用于低真空或中等真空應(yīng)用。高真空或超高真空應(yīng)用的光柵尺需要滿足一些特殊要求。采用的設(shè)計(jì)和材質(zhì)必須滿足應(yīng)用要求。更多信息，參見“真空中應(yīng)用的直線光柵尺”產(chǎn)品信息。 以下敞開式直線光柵尺專用于高真空或超高真空應(yīng)用環(huán)境。 • 高真空：LIP 481 V和LIF 481 V |
LIC 4100選型指南
型號 | 基線誤差 | 基體和安裝方式 | 細(xì)分誤差 | 測量長度 | |
精度等級 | 局部 | ||||
LIC 4113 | ± 3 μm | ≤ ± 0.275 μm/ 10 mm | 玻璃或玻璃陶瓷光柵尺，嵌入在安裝面中 | ± 20 nm | 240 mm 至3040 mm |
LIC 4115 | ± 5 μm | ≤ ± 0.750 μm/ 50 mm (typ.) | 鋼帶光柵尺穿入在鋁殼中并預(yù)緊 | ± 20 nm | 140 mm 至 28440 mm |
LIC 4117 | ± 3 μm | ≤ ± 0.750 μm/ 50 mm (typ.) | 鋼帶光柵尺穿入在鋁殼中并固定 | ± 20 nm | 240 mm 至 6040 mm |
LIC 4119 | ± 3 μm | ≤ ± 0.750 μm/ 50 mm (typ.) | 鋼帶光柵尺粘貼在安裝面上 | ± 20 nm | 70 mm 至 1020 mm |
LIC 4119 FS | ± 3 μm | ≤ ± 0.750 μm/ 50 mm (typ.) | 鋼帶光柵尺粘貼在安裝面上 | ± 20 nm | 70 mm 至 1820 mm |
LIC 2100
型號 | 基線誤差 | 基體和安裝方式 | 細(xì)分誤差 | 測量長度 | |
精度等級 | 局部 | ||||
LIC 2117 | ± 15 μm | 鋼帶光柵尺穿入在鋁殼中并固定 | ± 2 μm | 120 mm 至 3020 mm | |
LIC 2119 | ± 15 μm | 鋼帶光柵尺粘貼在安裝面上 | ± 2 μm | 120 mm 至 3020 mm | |
LIP 系列具有*的精度選型指南
外露式線性編碼器由 測量標(biāo)準(zhǔn) 和掃描頭組成。請從列表中選擇這兩個(gè)組件。.
模型 | 精度等級 | 基板和安裝 | 插值誤差 | 測量長度 |
唇 300 | ± 0.5 微米 | Zerodur 玻璃陶瓷嵌入螺栓固定的殷鋼載體中 | ± 0.01 納米 | 70 毫米至 270 毫米 |
產(chǎn)品變體 | ||||
唇 200 | ± 1 μm | 帶固定夾的 Zerodur 玻璃陶瓷刻度 | ± 1 納米 | 20 毫米至 3040 毫米 |
測量標(biāo)準(zhǔn) | 掃描頭 | |||
LIP 6000 | ±1 μm (< 1020 mm) ±3 μm | Zerodur 玻璃陶瓷的刻度，通過粘合劑或固定夾 | ± 4 納米 | 20 毫米至 3040 毫米 |
測量標(biāo)準(zhǔn) | 掃描頭 | |||
高精度 LIF 系列選型指南
外露式線性編碼器由測量標(biāo)準(zhǔn)和掃描頭組成。請從列表中選擇這兩個(gè)組件。.
刻度帶 | 掃描頭 |
模型 | 基線誤差 | 基板和安裝 | 插值誤差 | 測量長度 | |
精度等級 | 間隔 | ||||
LIF 400 | ± 1 μm | ≤ ± 0.225 微米/ 5 毫米 | Zerodur 玻璃陶瓷或玻璃的刻度，用 PRECIMET 膠膜粘合 | ± 12 納米 | 70 毫米至 1640 毫米 |
LIDA 400 系列用于高移動速度和大測量長度
外露式線性編碼器由測量標(biāo)準(zhǔn)和掃描頭組成。請從列表中選擇這兩個(gè)組件。.
刻度帶 | 掃描頭 |
模型 | 基線誤差 | 基板和安裝 | 插值誤差 | 測量長度 | |
精度等級 | 間隔 | ||||
利達(dá) 473 | ± 1 μm | ≤ ± 0.275 微米/ 10 毫米 | 玻璃或玻璃陶瓷刻度，粘合到安裝表面 | ± 45 納米 | 240 毫米至 3040 毫米 |
利達(dá) 475 | ± 5 微米 | ≤ ± 0.750 μm / 50 mm（典型值） | 鋼尺帶拉入鋁擠壓件并張緊 | ± 45 納米 | 140 毫米至 30040 毫米 |
利達(dá) 477 | ± 3 μm | ≤ ± 0.750 μm / 50 mm（典型值） | 鋼尺帶拉入鋁擠壓件并固定 | ± 45 納米 | 240 毫米至 6040 毫米 |
LIDA 479 | ± 3 微米 | ≤ ± 0.750 μm / 50 mm（典型值） | 鋼帶，粘合到安裝表面 | ± 45 納米 | 高達(dá) 6000 毫米 |
LIDA 200 系列用于高移動速度和大測量長度
外露式線性編碼器由測量標(biāo)準(zhǔn)和掃描頭組成。請從列表中選擇這兩個(gè)組件。.
刻度帶 | 掃描頭 |
模型 | 基線誤差 | 基板和安裝 | 插值誤差 | 測量長度 | |
精度等級 | 間隔 | ||||
利達(dá) 277 | ± 15 微米 | 鋼尺帶拉入鋁擠壓件并固定 | ± 2 微米 | 高達(dá) 10000 毫米 | |
利達(dá) 279 | ± 15 微米 | 鋼尺帶，粘在安裝面上 | ± 2 微米 | 高達(dá) 10000 毫米 | |
二坐標(biāo)測量用PP系列
模型 | 精度等級 | 基板和安裝 | 插值錯(cuò)誤 | 測量長度 |
聚丙烯 281 | ± 2 微米 | 玻璃格板， | ± 12 納米 | 測量范圍 68x68mm |
LIP/LIF 系列適用于高真空和超高真空技術(shù)
類型 | 基線誤差 | 基板和安裝 | 插值誤差 | 測量長度 | |
精度 | 間隔 | ||||
唇 | ± 0.5 微米 | ≤ ± 0.175 微米/ 5 毫米 | Zerodur 玻璃陶瓷或帶固定夾的玻璃刻度 | ± 7 納米 | 70 毫米至 420 毫米 |
LIF 471V | ± 3 微米 | ≤ ± 0.225 微米/ 5 毫米 | ± 12 納米 | 70 毫米至 1640 毫米 | |
LIC 4113 V | ±1 µm（僅適用于 Robax 玻璃陶瓷）、±3 µm、±5 µm | ≤ ±0.275 微米/10 毫米 | 玻璃陶瓷或玻璃上的 METALLUR 光柵 | ± 20 納米 | 240 毫米至 3040 毫米 |
相關(guān)產(chǎn)品
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