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真空等離子清洗機(jī)由真空發(fā)生系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、等離子發(fā)生器、真空腔體及相關(guān)機(jī)械等幾個部分構(gòu)成。是一種全新的高科技技術(shù)，利用等離子體來達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果。
清洗機(jī)利用兩個電極形成電磁場，用真空泵實(shí)現(xiàn)有效的真空度，隨著氣體越來越稀薄，分子之間的間距及分子或離子的自由運(yùn)動的距離也越來越長，受磁場作用發(fā)生碰撞而形成等離子體并產(chǎn)生輝光。
等離子體在電磁場內(nèi)的空間運(yùn)動，并不斷轟擊被處理物體表面，去除表面油污以及表面氧化物、灰化表面有機(jī)物以及其它化學(xué)物質(zhì)，以此達(dá)到表面處理清洗和刻蝕的效果。
真空等離子清洗機(jī)整個清洗過程大致如下：
1、首先將被清洗的工件送入真空機(jī)并加以固定，啟動運(yùn)行裝置開始排氣，讓真空腔內(nèi)的真空程度達(dá)到10Pa左右的標(biāo)準(zhǔn)真空度。一般排氣時間大約需要幾分鐘。
2、然后向真空室內(nèi)引入等離子清洗用的氣體，并保持腔內(nèi)壓強(qiáng)穩(wěn)定。根據(jù)清洗材料的不同，可分別使用氧氣、氬氣、氫氣、氮?dú)?、四氟化碳等氣體。
3、在真空室內(nèi)的電極與接地裝置之間施加高頻電壓，使氣體被擊穿并通過輝光放電而發(fā)生等離子化和產(chǎn)生等離子體，讓在真空腔內(nèi)產(chǎn)生的等離子體籠罩住被處理的工件并開始清洗作業(yè)，一般清洗處理持續(xù)幾十秒到幾十分鐘不等，根據(jù)處理材質(zhì)的不同而定。
4、清洗完畢后切斷電源，并通過真空泵將氣體和氣化的污垢抽走排出，清洗結(jié)束。
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