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國產(chǎn)質(zhì)量流量控制器可以用于控制所有各種氣體，包括腐蝕性氣體和特殊氣體，但是要注意，對于使用腐蝕性氣體和特殊氣體，需要恰當(dāng)選擇型號和密封材料。
通常質(zhì)量流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等，密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類。
金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。質(zhì)量流量控制器采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體，包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。對于三溴化硼、三氯化硼、氟化氫等強腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議采用金屬密封的MFC。
質(zhì)量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調(diào)節(jié)閥門和放大控制器等部分組成。質(zhì)量流量控制器傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量(無需溫度壓力補償)。
將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大, 放大后的流量檢測電壓與設(shè)定電壓進行比較, 再將差值信號放大后去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。
分流器決定主通道的流量。與質(zhì)量流量控制器配套的流量顯示儀上設(shè)置有穩(wěn)壓電源,數(shù)字電壓表, 設(shè)定電位器, 外設(shè)、內(nèi)設(shè)轉(zhuǎn)換和三位閥控開關(guān)等。
質(zhì)量流量控制器一般指自控式流量控制閥，是一種直觀簡便的流量調(diào)節(jié)控制裝置，管網(wǎng)中應(yīng)用自控式流量控制閥可直接根據(jù)設(shè)計來設(shè)定流量，閥門可在水作用下，自動消除管線的剩余壓頭及壓力波動所引起的流量偏差，無論系統(tǒng)壓力怎樣變化均保持設(shè)定流量不變，國產(chǎn)質(zhì)量流量控制器該閥這些功能使管網(wǎng)流量調(diào)節(jié)一次完成，把調(diào)網(wǎng)工作變?yōu)楹唵蔚牧髁糠峙洌行У慕鉀Q管網(wǎng)的水力失調(diào)。
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