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3D光學干涉輪廓儀主要是用于產(chǎn)品微觀形貌測量，主要是測微觀粗糙度，精度一般是亞微米和納級別的。是來測工件測長寬高尺寸、角度、直徑、半徑等參數(shù)，還可以進行一些形位公差的評定，精度都是微米級別的。主要用于零件輪廓尺寸測量，比如汽配行業(yè)、軸承行業(yè)、五金工具、機械加工、緊固件行業(yè)、軸承行業(yè)、模具行業(yè)等等。
下面就3D光學干涉輪廓儀的應用領域舉例如下：
1、PDP測量
PDP是PlasmaDisplayPanel（等離子顯示板）的省略詞，是前面和背面玻璃及之間被隔斷密封的玻璃之間注入Ne+Ar,Ne+Xe等氣體后，正負電極輸入電壓，從而產(chǎn)生Ne光的電子顯示裝置。界壁(BarrierRib):Panel的Cell電氣、光學、物理分割的隔離壁。
2、導電玻璃
ITO（導電玻璃）段差:ITO是在鈉鈣基或硅硼基基片玻璃的基礎上，利用濺射、蒸發(fā)等多種方法鍍上一層氧化銦錫膜加工制作成的。根據(jù)高度決定電阻值不同，所以管理高度時使用。
3、印刷電路
印刷電子元件是根據(jù)現(xiàn)有印刷方式和印刷技術來制作電路或電子元件。在此根據(jù)測量印刷的Pattern來管理電子元件的電荷量。PET薄膜上印刷的電極層(Ag)的幅度及高度測量:：為了解高度對電荷量的關系。
4、Dot測量
利用噴嘴印刷形成pattern是顯示器及半導體制造的現(xiàn)有技術之一。噴嘴噴射的Dot的模樣及大小，是決定印刷pattern幅度及厚度的重要因素。對于排線制作，形成最佳形態(tài)的Dot是形成pattern是必要因素，因此用于測量管理。
5、顯微透鏡
直徑在0.1至數(shù)毫米的顯微透鏡，用于光通信里激光和光纖維結合，或者用于復印機、傳真機、內視鏡等。
6、激光加工
部件的激光加工時根據(jù)加工條件的深度及形象測量，可確定加工機的加工條件環(huán)境。
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