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3D光學(xué)干涉輪廓儀的應(yīng)用領(lǐng)域廣泛
3D光學(xué)干涉輪廓儀主要是用于產(chǎn)品微觀形貌測(cè)量，主要是測(cè)微觀粗糙度，精度一般是亞微米和納級(jí)別的。是來(lái)測(cè)工件測(cè)長(zhǎng)寬高尺寸、角度、直徑、半徑等參數(shù)，還可以進(jìn)行一些形位公差的評(píng)定，精度都是微米級(jí)別的。主要用于零件輪廓尺寸測(cè)量，比如汽配行業(yè)、軸承行業(yè)、五金工具、機(jī)械加工、緊固件行業(yè)、軸承行業(yè)、模具行業(yè)等等。
下面就3D光學(xué)干涉輪廓儀的應(yīng)用領(lǐng)域舉例如下：
1、PDP測(cè)量
PDP是PlasmaDisplayPanel（等離子顯示板）的省略詞，是前面和背面玻璃及之間被隔斷密封的玻璃之間注入Ne+Ar,Ne+Xe等氣體后，正負(fù)電極輸入電壓，從而產(chǎn)生Ne光的電子顯示裝置。界壁(BarrierRib):Panel的Cell電氣、光學(xué)、物理分割的隔離壁。
2、導(dǎo)電玻璃
ITO（導(dǎo)電玻璃）段差:ITO是在鈉鈣基或硅硼基基片玻璃的基礎(chǔ)上，利用濺射、蒸發(fā)等多種方法鍍上一層氧化銦錫膜加工制作成的。根據(jù)高度決定電阻值不同，所以管理高度時(shí)使用。
3、印刷電路
印刷電子元件是根據(jù)現(xiàn)有印刷方式和印刷技術(shù)來(lái)制作電路或電子元件。在此根據(jù)測(cè)量印刷的Pattern來(lái)管理電子元件的電荷量。PET薄膜上印刷的電極層(Ag)的幅度及高度測(cè)量:：為了解高度對(duì)電荷量的關(guān)系。
4、Dot測(cè)量
利用噴嘴印刷形成pattern是顯示器及半導(dǎo)體制造的現(xiàn)有技術(shù)之一。噴嘴噴射的Dot的模樣及大小，是決定印刷pattern幅度及厚度的重要因素。對(duì)于排線制作，形成最佳形態(tài)的Dot是形成pattern是必要因素，因此用于測(cè)量管理。
5、顯微透鏡
直徑在0.1至數(shù)毫米的顯微透鏡，用于光通信里激光和光纖維結(jié)合，或者用于復(fù)印機(jī)、傳真機(jī)、內(nèi)視鏡等。
6、激光加工
部件的激光加工時(shí)根據(jù)加工條件的深度及形象測(cè)量，可確定加工機(jī)的加工條件環(huán)境。
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