国产精品视频一区二区三区四,亚洲av美洲av综合av,99国内精品久久久久久久,欧美电影一区二区三区电影

產(chǎn)品推薦:氣相|液相|光譜|質(zhì)譜|電化學|元素分析|水分測定儀|樣品前處理|試驗機|培養(yǎng)箱


化工儀器網(wǎng)>技術(shù)中心>其他文章>正文

歡迎聯(lián)系我

有什么可以幫您? 在線咨詢

離子濺射儀的工作原理及操作步驟解析

來源:昆山瑞塞奇精密儀器有限公司   2022年03月14日 18:47  
   離子濺射儀為一種有著緊湊結(jié)構(gòu)的桌上型鍍膜系統(tǒng),對于掃描電鏡成像中非導電樣品高質(zhì)量鍍膜尤為適用。試樣干燥清潔為離子濺射鍍膜的基本要求。在必要時,交換試樣與陰極的位置利用火花放電從而對試樣表面進行清潔,之后試樣復原,再進行濺射鍍膜。鐵、鎳、銅鉛等為該儀器常用的陰極材料,有時電剛金、鉑、鈀、銦和其他金屬也能夠作為陰極材料。
  
  工作原理:
  直流冷陰極二極管式,靶材處于常溫,加負高壓1-3kv,陽極接地。當接通高壓,陰極發(fā)射電子,電子能量增加到1-3kev,轟擊低真空中(3-10pA)的氣體,使其電離,激發(fā)出的電子在電場中被加速,繼續(xù)轟擊氣體,產(chǎn)生聯(lián)級電離,形成等離子體。離子以1-3kev的能量轟擊陰極靶,當其能量高于靶材原子的結(jié)合能時,靶材原子或者原子簇,脫離靶材,又經(jīng)過與等離子體中的殘余氣體碰撞,因此方向各異,當落在樣品表面時,可以在粗糙的樣品表面形成厚度均一的金屬薄膜,而且與樣品的結(jié)合強度高。如果工作室中的氣體持續(xù)流動,保持恒定壓力,這時的離子流保持恒定。高壓的功率決定了最大離子流,一般有最大離子流限制,用于保護高壓電源。
  
  離子濺射儀的操作:
  1、一般工作距離可調(diào),距離越近,濺射速度越快,但熱損傷會增加。
  2、離子流的大小通過控制真空壓力實現(xiàn),真空度越低,I越大,濺射速度越快,原子結(jié)晶晶粒越粗,電子轟擊樣品(陽極)產(chǎn)生的熱量越高;真空度越3、高,I越小,濺射速度越慢,原子結(jié)晶晶粒越細小,電子轟擊樣品產(chǎn)生的熱量小。
  4、加速電壓為固定,也有可調(diào)的,加速電壓越高,對樣品熱損傷越大。一般使用金屬靶材的正比區(qū)域。
  5、有些熱敏樣品,需要對樣品區(qū)進行冷卻,水冷或者帕爾貼冷卻;也可以采用磁控裝置,像電磁透鏡一樣把電子偏離樣品。經(jīng)過這樣的改造,當然會增6、加很高的成本??梢栽谑灡砻鏋R射一層金屬,而沒有任何損傷!
  7、真空中的雜質(zhì)越多,鍍膜質(zhì)量越差。一般黃金比較穩(wěn)定,可以采用空氣作為等離子氣源,而其他很多靶材則需要惰性氣體為好。
  8、氣體原子序數(shù)越高,動量越大,濺射越快,但晶粒會較粗,連續(xù)成膜的膜層較厚。
  9、保持真空室的潔凈對高質(zhì)量的鍍膜有很大好處。
  10、不要讓機械真空泵長期保持極限真空,否則容易反油。

免責聲明

  • 凡本網(wǎng)注明“來源:化工儀器網(wǎng)”的所有作品,均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品,未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的,應在授權(quán)范圍內(nèi)使用,并注明“來源:化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者,本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責任。
  • 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源(非化工儀器網(wǎng))的作品,目的在于傳遞更多信息,并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負責,不承擔此類作品侵權(quán)行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時,必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源,并自負版權(quán)等法律責任。
  • 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題,請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系,否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
企業(yè)未開通此功能
詳詢客服 : 0571-87858618
陵水| 苏尼特左旗| 昌乐县| 枣强县| 新闻| 绥宁县| 蛟河市| 吴忠市| 恩施市| 健康| 武平县| 盐亭县| 闽侯县| 罗定市| 高邑县| 阿拉善盟| 浦县| 大新县| 河间市| 新野县| 彝良县| 普安县| 梁河县| 遵义市| 息烽县| 贞丰县| 天门市| 建宁县| 永吉县| 靖州| 富民县| 新密市| 宁河县| 贡觉县| 滨州市| 新竹市| 庐江县| 江安县| 保德县| 株洲市| 昌都县|