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納米壓痕儀主要用于微納米尺度薄膜材料的硬度與楊氏模量測(cè)試，測(cè)試結(jié)果通過力與壓入深度的曲線計(jì)算得出，無需通過顯微鏡觀察壓痕面積。
納米壓痕儀能通過實(shí)時(shí)記錄力和對(duì)應(yīng)位移深度的曲線來測(cè)量納米或微米級(jí)薄膜材料力學(xué)性能。儀器不僅提供納米壓痕功能，同時(shí)也提供納米劃痕功能和臺(tái)階儀功能，即不僅可以滿足薄膜硬度、彈性模量等性能的測(cè)量，還可實(shí)現(xiàn)薄膜與基體之間的結(jié)合力和定量表面形貌的測(cè)量。
納米壓痕儀具有哪些優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)？
（1）試樣制備簡(jiǎn)單。納米壓痕儀測(cè)試一般對(duì)試樣表面粗糙度有特殊要求，對(duì)被測(cè)試樣的形狀尺寸并無特殊要求，壓入深度在微納米尺度，是一種無損測(cè)試方法。
（2）測(cè)量分辨力高。
（3）操作方便。利用載荷-深度曲線，可直接換算得到接觸面積，無需對(duì)殘余壓痕面積進(jìn)行測(cè)定。
（4）測(cè)試內(nèi)容豐富。利用納米壓痕儀測(cè)試不僅可以獲得硬度、彈性模量，還可以獲得塑性參數(shù)、斷裂參數(shù)、黏彈參數(shù)等。
（5）應(yīng)用范圍廣?？蓮V泛應(yīng)用于金屬、陶瓷、薄膜材料、復(fù)合材料、生物材料、特殊功能材料、微機(jī)電系統(tǒng)中微構(gòu)件等眾多材料和結(jié)構(gòu)的力學(xué)測(cè)試。
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