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激光三維表面輪廓儀可進(jìn)行材料表面三維輪廓測(cè)量、粗糙度測(cè)量、寬度、高度、角度、半徑、粗糙度等二維和三維數(shù)據(jù)分析，無(wú)需拼接即可直接測(cè)量大面積樣品。Z1軸（檢測(cè)器）配備高精度圓弧光柵尺和新型測(cè)量臂的輪廓測(cè)量?jī)x。高精度圓弧光柵尺可直接讀取測(cè)量針的圓弧軌跡，實(shí)現(xiàn)高精度、高分辨率。與傳統(tǒng)機(jī)型相比，新型測(cè)量臂將Z1軸的測(cè)量范圍增加了10mm，減少了工作量。測(cè)量臂安裝部分采用磁力連桿，此觸點(diǎn)即可完成測(cè)量臂的裝卸，提高了使用的便利性。
在CF4激光共焦傳感器中，被照亮的小孔在被測(cè)表面上成像。激光束通過(guò)物鏡快速上下移動(dòng)，聚焦在被測(cè)物體上。只有當(dāng)焦平面與真實(shí)表面上的點(diǎn)配對(duì)時(shí)，探測(cè)器才會(huì)記錄表面信號(hào)。因此，物鏡必須移動(dòng)一個(gè)小的垂直步距，以便通過(guò)位移傳感器的位置移動(dòng)來(lái)測(cè)量信號(hào)。根據(jù)特殊的插值技術(shù)，系統(tǒng)的精度可以達(dá)到10nm以下。激光三維表面輪廓儀可生成高達(dá)150x150mm掃描區(qū)域的詳細(xì)3D和2D圖像。其重復(fù)性和超低力使其能夠測(cè)量任何材料的表面形貌，用于科研和生產(chǎn)環(huán)境。數(shù)據(jù)分析SPIP軟件是工業(yè)上有用的軟件。用戶可以對(duì)各種應(yīng)用進(jìn)行表面分析。單方面，它的掃描面積非常大，用途也比較多。
激光三維表面輪廓儀的應(yīng)用：
1、集成電路封裝和表面貼裝：快速獲取封裝翹曲、引腳共面度、粗糙度、焊錫量和引腳輪廓。
2、厚膜混合電路：自動(dòng)測(cè)量膜厚。
3、精密零件：測(cè)量精密五金配件、塑料和半導(dǎo)體材料的輪廓和粗糙度。
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