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日立掃描電子顯微鏡主要是利用二次電子信號(hào)成像來觀察樣品的表面形態(tài)，即用極狹窄的電子束去掃描樣品，通過電子束與樣品的相互作用產(chǎn)生各種效應(yīng)，其中主要是樣品的二次電子發(fā)射。廣泛用于科研、半導(dǎo)體行業(yè)、高等院校、電路板、材料冶金等行業(yè)。
日立掃描電子顯微鏡由三大部分組成：真空系統(tǒng)，電子束系統(tǒng)以及成像系統(tǒng)。
1、真空系統(tǒng)----主要包括真空泵和真空柱兩部分。真空柱是一個(gè)密封的柱形容器。真空泵用來在真空柱內(nèi)產(chǎn)生真空。
2、電子束系統(tǒng)----電子束系統(tǒng)由電子槍和電磁透鏡兩部分組成，主要用于產(chǎn)生一束能量分布極窄的、電子能量確定的電子束用以掃描成像。電子槍用于產(chǎn)生電子，主要有利用場發(fā)射效應(yīng)產(chǎn)生電子和利用熱發(fā)射效應(yīng)產(chǎn)生電子兩種。
3、成像系統(tǒng)----電子經(jīng)過一系列電磁透鏡成束后，打到樣品上與樣品相互作用，會(huì)產(chǎn)生次級(jí)電子、背散射電子、歐革電子以及X射線等一系列信號(hào)。所以需要不同的探測器譬如次級(jí)電子探測器、X射線能譜分析儀等來區(qū)分這些信號(hào)以獲得所需要的信息。
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