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瑞士XRNanotech高精度、高性能X射線光柵的簡介

來源:上海昊量光電設備有限公司   2022年04月15日 09:59  


瑞士XRNanotech高精度、高性能X射線光柵

X射線光柵在生命、能源、材料、環(huán)境、食品等領域中具有重要應用,由于X射線光柵是非常精密的光學器件,對制作工藝的要求很高,尤其是制作高質量的二維X射線光柵的難度更大,因此,高質量的二維X射線光柵倍受相關科研人員的期待。


XRnanotech在X射線光學研究和開發(fā)領域的新創(chuàng)新,突破了可能的界限。依托Paul Scherrer研究所開發(fā)的技術,加上優(yōu)異的工程能力和高水平的質量控制,造就了X射線光學關鍵器件。


通過銥線倍頻技術獲得最大分辨率

憑借線倍頻技術,可以實現(xiàn)精確到5nm的X射線束聚焦,從而成為目前紀錄的保持者。有了如此精確的聚焦,X射線成像的分辨率達到高的水平,使得曾經不可見的東西變得可見,并實現(xiàn)了全新的應用。該方法核心工藝是在反應離子蝕刻剝離基底結構之前,在稀疏模板上涂覆一層銥原子層。


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利用閃耀光學方式優(yōu)化效率

光學器件的光子效率越高,透過的光子就越多,這意味著效率越高的光學器件可以為實現(xiàn)相同的目標節(jié)省時間和能量。與理論光子效率極限為40.5%的傳統(tǒng)二元光柵光學相比,僅增加一階的閃耀光柵可以將極限提高到68.4%,而再增加一階的閃耀光柵可達81.1%。


基于電子束光刻的制造工藝,而不是機械刻劃,可以輕松實現(xiàn)多階閃耀光柵的設計加工。在實際加工過程中,XRnatotech已經實現(xiàn)了衍射波帶片的光子效率超過50%,而行業(yè)標準是5-10%,大多數(shù)比較先進的技術最高也只達到25%。這樣,不僅可以將實驗時間減半,推動科學進步,還可以將在大型X射線源上進行實驗的成本減半。


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金剛石光學的輻射穩(wěn)定性

在過去幾十年中,X射線源的亮度急劇上升,自由電子激光器的亮度達到太陽亮度的1億倍以上。這開辟了重要的研究領域,但也暴露了不少X射線光學器件的關鍵局限性,在如此高的輻射能量下,這些器件容易融化。XRnanotech開發(fā)出一種方法,即用最耐熱的天然材料單片金剛石加工光學元件。金剛石光學可以輕松承受FEL X射線束的強度,從而緩解FEL實驗中的這一瓶頸。


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目前,XRnanotech已為X射線廣泛應用提供多種光學元件:






Zernicke相襯成像應用:






相關文獻:

B. R?sner et al. Exploiting atomic layer deposition for fabricating sub-10 nm X-ray lenses Microelectronic Engineering 191 (2018) p. 91

B. R?sner et al. 7 nm spatial resolution in soft x-ray microscopy Microscopy and Microanalysis 24 (2018) p. 270

K. Jefimovs et al. A zone doubling technique to produce ultra-high resolution x-ray optics Physical Review Letters 99 (2007) p. 264801

J. Vila-Comamala et al. Advanced Thin Film Technology for Ultrahigh Resolution X-Ray Microscopy Ultramicroscopy 109 (2009) p. 1360

P. Karvinen et al. Kinoform diffractive lenses for efficient nano-focusing of hard X-rays Optics Express 22 (2014) p. 16676

I. Mohacsi et al. High efficiency X-ray nanofocusing by multilevel zone plates Journal of Synchrotron Radiation 21 (2014) p. 497

I. Mohacsi et al. Fabrication and characterization of high efficiency double-sided blazed X-ray optics Optics Letters 41 (2016) p. 281

C. David et al. Nanofocusing of hard X-ray free electron laser pulses using diamond based Fresnel zone plates Scientific Reports 1 (2011) p. 57

M. Makita et al. Diamond diffraction gratings for experiments with intense hard x-rays Microelectronic Engineering 176 (2017) p. 75

N. Kujala et al. Characterizing transmissive diamond gratings as beam splitter for hard X-ray singleshot spectrometer of European XFEL Journal of Synchrotron Radiation 26 (2019) p. 708




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