等離子清洗機(jī)用于清洗生物芯片、PDMS微流控芯片、沉積凝膠的基片，在微流控芯片的應(yīng)用中，等離子清洗機(jī)設(shè)備既可以用于晶圓或碎片的表面處理及光刻膠去除，也可以用于PDMS等鍵合前的材料表面處理或改性。

等離子清洗機(jī)Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機(jī)、等離子去膠機(jī)、等離子活化機(jī)、Plasma清洗機(jī)、等離子表面處理機(jī)、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子處理機(jī)廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和等離子表面處理等場(chǎng)合，通過等離子清洗機(jī)的表面處理，能夠改善材料表面的潤(rùn)濕能力，使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、涂鍍等操作，增強(qiáng)粘合力、鍵合力，同時(shí)去除有機(jī)污染物、油污或油脂.

等離子清洗機(jī)能對(duì)各種幾何形狀、表面粗糙程度各異的金屬、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等物件表面進(jìn)行超清洗和改性。

等離子清洗機(jī)是一款超清洗設(shè)備, 采用氣體作為清洗介質(zhì)，在短時(shí)間內(nèi)能**地去除被清洗物表面的有機(jī)污染物，其清洗能力達(dá)到分子級(jí)。等離子清洗機(jī)在微流控行業(yè)常作為PDMS芯片鍵合主要設(shè)備，可用于鍵合PDMS和PDMS、PDMS和玻璃，以及PDMS表面親水改性