OLED顯示器件生產(chǎn)工藝中等離子清洗機主要用于生產(chǎn)工藝線上有機沾污的清洗處理。

等離子清洗機能夠去除金屬、陶瓷、塑料、玻璃表面的有機污染物，可以明顯改變這些表面的粘接性及焊接強度。離子化過程能夠容易地控制和安全地重復實現(xiàn)。等離子清洗機的表面處理對于產(chǎn)品的可靠性或過程效率的提高是至關(guān)重要的，通過表面活化，等離子清洗機可以改善絕大多數(shù)物質(zhì)的性能：潔凈度、親水性、斥水性、粘結(jié)性、標刻性、潤滑性、耐磨性。

等離子清洗機Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機、等離子去膠機、等離子活化機、Plasma清洗機、等離子表面處理機、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子處理機廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和等離子表面處理等場合，通過等離子清洗機的表面處理，能夠改善材料表面的潤濕能力，使多種材料能夠進行涂覆、涂鍍等操作，增強粘合力、鍵合力，同時去除有機污染物、油污或油脂.

等離子清洗機對芯片表面處理后，可用于芯片鍵合、芯片表面浸潤性改變。

等離子清洗機使用范圍。
1.Plasma處理機清洗電子元件、光學器件、激光器件、鍍膜基片、芯片。
2.等離子處理設(shè)備能清洗光學鏡片、電子顯微鏡片等多種鏡片和載片。
3.等離子清洗機能移除光學元件、半導體元件等表面的光阻物質(zhì)。
4.等離子處理機清洗ATR元件、各種形狀的人工晶體、天然晶體和寶石。
5.等離子刻蝕機清洗半導體元件、印刷線路板。
6.plasma處理設(shè)備清洗生物芯片、微流控芯片。
7.等離子處理設(shè)備清洗沉積凝膠的基片。
8.等離子表面處理設(shè)備能對高分子材料表面修飾。
9.等離子清洗器能對牙科材料、人造移植物、醫(yī)療器械的消毒和殺菌。
10.等離子活化機改善粘接光學元件、光纖、生物醫(yī)學材料、宇航材料等所用膠水的粘和力。

等離子清洗機用于液晶面板產(chǎn)業(yè)STN、TFT、OLED、LTPS及軟板、光電元件、電子元件封裝貼合前清潔