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淺談真空泵用真空計的測量范圍

來源:昆山上善真空科技有限公司   2022年05月06日 10:05  
  真空泵用真空計在壓力測量中,除極少數(shù)直接測量外,絕大多數(shù)是間接測量。就是先在被測氣體中引起一定的物理現(xiàn)象,然后再測量這一過程中與壓力有關(guān)的物理量,進而設(shè)法確定壓力值。這是真空測量的特點,亦會造成某些問題。
 
  真空泵用真空計的測量范圍:
 
  任何具體物理現(xiàn)象與壓力的關(guān)系,都是在某一壓力范圍內(nèi),超出這個范圍,關(guān)系變得弱了。因此,任何方法都有其一定的測量范圍,這個范圍就是真空計的“量程”。盡可能擴展每一種方法的量程,是真空科學研究的重要內(nèi)容之一。近代真空技術(shù)所涉及到的壓力范圍寬達19個數(shù)級(105~10-14pa),沒有任何一種真空計能測量如此寬的壓力范圍,因此總是用幾種真空計分別管轄一定的區(qū)域。但由于各種真空計在原理上的差異.在相互銜接的區(qū)域,往往要造成較大的誤差。由上觀之,為改善真空計性能及提高真空測量準確度,必須突出主要現(xiàn)象,抑制寄生現(xiàn)象。
 
  真空泵用真空計的選擇原則:
 
  1、在要求的壓力區(qū)域內(nèi)有要求的精度。
 
  2、被測氣體是否會損傷真空計;真空計可否會給被測氣體狀態(tài)帶來影響。
 
  3、能測全壓力嗎?可校準嗎?靈敏度與氣體種類有關(guān)否。
 
  4、可否連續(xù)指示、電氣指示以及反應時間長短。
 
  5、穩(wěn)定性、復現(xiàn)性、可靠性和壽命如何。
 
  6、要看真空計的安裝方法、操作性能、保修、管理、市場有無銷售、購買的難易程度和規(guī)格如何。

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