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x射線光電子能譜儀是目前世界的商用X射線熒光光譜分析儀器，適用于陶瓷、青銅器、玉器、竹木漆器、字畫、皮革、絲麻棉織品等多種文物的整器無損分析。其優(yōu)勢主要有：超大樣品室，適合各種形態(tài)、材質的器物放置，可移動樣品臺能夠檢測器物的各個部位，并且可以在空氣和真空雙重條件下測量。聚焦可調，點、線、面掃描結合，全面反映器物的微觀結構與宏觀形貌。分析速度快精密度高，全自動化操作，安全可靠。
x射線光電子能譜儀用于不同的檢測目的，擁有各式各樣的X熒光能譜儀，其中包括便攜式熒光能譜儀可以在野外使用的簡單儀器儀表和在實驗室中使用的大型儀器，但其工作原理是類似的。該儀器主要分為四種系統(tǒng)：X-熒光激發(fā)源；X-熒光探測器；樣品室；信號處理、數據計算系統(tǒng)。
便攜式熒光能譜儀是根據同位素源為激發(fā)源，體積小巧，方便攜帶，適用于現場分析及野外和大型工件設備上某零件的元素分析或合號的鑒定。但達不到大型熒光能譜的分析精度。一般以定性半定量分析獲準定量分析。
x射線光電子能譜儀的使用范圍：
1、高分子、陶瓷、混凝土、生物、礦物、纖維等無機或有機固體材料分析;
2、金屬材料的相分析、成分分析和夾雜物形態(tài)成分的鑒定;
3、可對固體材料的表面涂層、鍍層進行分析，如:金屬化膜表面鍍層的檢測;
4、金銀飾品、寶石首飾的鑒別，考古和文物鑒定，以及刑偵鑒定等領域;
5、進行材料表面微區(qū)成分的定性和定量分析，在材料表面做元素的面、線、點分布分析。
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