微區(qū)電化學掃描顯微鏡由以下基本部分組成:產生電子束的柱形鏡簡,電子束與樣品發(fā)生相互作用的樣品室,檢測樣品室所產生信號的探頭,以及將信號變因像的數(shù)據(jù)處理與顯示系統(tǒng)。
微區(qū)電化學掃描顯微鏡的保養(yǎng)方法:
1.保持儀器操作臺面整潔,不允許身體倚靠,凍水機等裝置不可放置重物
2.開機時一定要先開水冷系統(tǒng),并要檢查冷卻水的溫度,關機至少15分鐘后才能關閉冷卻水
3.進樣品時,檢查Z軸和T軸的位置.緩緩關閉樣品室,確保進樣倉門*關閉,才可點擊EVAC按鈕抽氣
4.移動樣品,通過配合移動Stage Driver 將載物臺向X軸和Y軸方向移動,從而移動樣品,并保證小于較大允許值
5.傾斜樣品,-10°~+45°,要十分當心,不要撞壞探頭。要根據(jù)樣品臺和樣品狀況選擇傾斜角度,注樣品可傾斜的較大安全角度必須小于允許值,防止樣品撞傷物鏡極靴
6.用BSE探頭時不可傾斜樣品臺
7.樣品只有在加速電壓關閉的情況下才可取出,不作樣品掃描時要關閉高壓
8.放氣時HT必須處于關閉狀態(tài),必須等待120秒后才可輕輕拉開樣品交換倉的門
9.更換鎢燈絲時, 等待兩分鐘時間,然后打開電子槍,用專門的器具取出鎢燈絲連同鎢燈絲罩,以免被燙傷
10.電鏡需要手動調節(jié)的部分主要有光闌,象散,工作距離調節(jié)的旋鈕等,其他部件不允許調整
11.每周加兩到三次液氮,兩次間隔不超過四天。
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