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QUANTAX能譜儀配有界面友好、功能強(qiáng)大的ESPRIT軟件。該軟件標(biāo)配中、英文界面。應(yīng)用該軟件可進(jìn)行無(wú)標(biāo)樣定量分析，和有標(biāo)準(zhǔn)定量分析，或二種方法結(jié)合使用。另外，還可進(jìn)行點(diǎn)、線、面分析，線掃描，面分布，超級(jí)面分布，相分析，顆粒分析，鋼鐵分析，槍擊殘留物分析等等。適合不同電子顯微鏡極靴類型的的EDS細(xì)管徑設(shè)計(jì)和優(yōu)化的EDS幾何構(gòu)型確保了MAX信號(hào)采集角和檢出角。
X射線顯微分析是一種在電子顯微鏡中經(jīng)常用到的測(cè)量固體樣品、薄膜、微?；瘜W(xué)成分的分析技術(shù)。該技術(shù)應(yīng)用一種能量色散X射線光譜儀(EDS)能同時(shí)探測(cè)和分析低至Be的所有元素。該技術(shù)從一個(gè)微米級(jí)的樣品區(qū)域獲得元素信息，提供低至0.1%質(zhì)量百分?jǐn)?shù)的檢出限，這些特性使得X射線顯微分析成為靈敏的分析方法之一。
QUANTAX能譜儀的探頭水平放置于電鏡極靴的正下方，探頭組件由四個(gè)獨(dú)立的硅漂移芯片組成，它們環(huán)形排列于中心孔四周，入射電子束從該中心孔穿過(guò)。這一設(shè)計(jì)使得平插式能譜儀在保留高能量分辨率的同時(shí)具有超高的計(jì)數(shù)率和空間分辨率。特別適用于以下領(lǐng)域在低束流和極低束流下(<10pA)，分析束流敏感樣品，如生物或半導(dǎo)體樣品；分析表面不平整樣品，消除陰影效應(yīng)；在低加速電壓和高放大倍數(shù)下，分析納米顆粒和納米結(jié)構(gòu)；可測(cè)試超薄樣品(如TEM樣品)。
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