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微量氧分析儀的原理主要有化學電池法、原電池法、燃料電池法、赫茲電池法和濃差電池法。要檢測的氧氣先通過一個小的毛細口傳感器，然后通過一個疏水膜擴散進入，到達電極表面。傳感器的結(jié)構(gòu)設(shè)計保證會有適量的氣體進入與感應電極反應產(chǎn)生足夠的電信號，并同時防止電解液泄漏出傳感器。通過疏水膜擴散進入傳感器里的氣體在感應電極發(fā)生氧化/還原反應，電極間連接一個電阻，這樣，陰極和陽極間會產(chǎn)生一個與氧濃度成正比的電流。通過檢測這個電流，就反應出氣體中的氧濃度。
微量氧分析儀的操作方法及注意事項：
用6mm，3mm不銹鋼管連接氣路及采樣預處理系統(tǒng)，分別檢查管路的氣密性。通電10min進出口閥全關(guān)閉時，儀器示值應小于10X10，否則說明系統(tǒng)氣密性存在問題，必須排除。檢查儀器的安全性能，系統(tǒng)絕緣電阻不小于5MΩ。然后進行校準。
1)在正常的情況下不對儀器的零點校準(只需用，無氧的氣體進行吹掃)，只對儀器的量程用標氣進行校準。
2)依次打開出口閥和進口閥，旋轉(zhuǎn)五通閥到置換氣位置，接通吹掃氣，調(diào)整壓力小于0.02MPa，調(diào)整流量為0.2SLPM迅速進入氧電池，進行吹掃(一般需要2~12h)讀數(shù)約為2*10。
3)吹掃讀數(shù)穩(wěn)定后，進行量程標定，緩慢打開氣瓶減壓閥，調(diào)整壓力為0.02MPa，將五通閥切換到量程位，置，調(diào)整流量為1.0SLPM，當讀數(shù)穩(wěn)定后按操作步驟進行量程標定。儀器標定完后，將五通閥切換到測量位置，慢慢打開樣氣取樣閥，將壓力調(diào)整在0.02MPa，流量調(diào)整在1.0SLPM。當儀器顯示穩(wěn)定后即是所測樣氣中氧的含量。儀器使用時應注意。
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