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3D光學干涉輪廓儀是一種用于物理學領域的特種檢測儀器，利用白光干涉測量技術，可為樣品表面測量提供快速、便捷的非接觸式地測量3D臺階高度，粗糙度和表面形貌。該技術采用優(yōu)化聚焦和*算法，能以很快的速度構(gòu)建3D圖形表面。既能提供易于采集的高分辨率圖像，又能提供可靠的測量數(shù)據(jù)。它特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。而其雙重防撞保護措施能更好的保護儀器，確保精度的準確。
工作原理：
根據(jù)光波的干涉原理，儀器本身產(chǎn)生的可見光通過單色濾光片濾掉雜散光，變成了單一相位的光波，此光波通過掃描器掃描到被測量的光學材料上，與光學材料本身產(chǎn)生的光波發(fā)生了光波干涉，從而產(chǎn)生干涉條紋，兩個光波的波面間也產(chǎn)生連續(xù)的相位變化，干涉標準鏡和圖像采集器將獲取的干涉波的干涉條紋信號捕捉到后輸入計算機，經(jīng)專業(yè)軟件將獲取的數(shù)據(jù)進行處理和擬合，在計算機顯示器上獲得了模擬的圖形，達到了光學材料的測量（彎度、平面、三維圖像）其精度可達3.5納米量級，掃描范圍擴展到縱向20mm，且具有較高的自動化程度和目鏡可以更換的人性化設計。
3D光學干涉輪廓儀其3D重建算法、精密Z向掃描模塊和光學干涉技術組成的測量系統(tǒng)，以及能有效隔離2Hz以上頻率的隔振系統(tǒng)，保證了測量精度和測量重復性。測量數(shù)據(jù)自動統(tǒng)計，可視化窗口，結(jié)合自定義分析模板的自動化測量功能，實現(xiàn)了快速批量測量的功能，自動完成多區(qū)域的測量與分析過程。
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