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激光三維表面輪廓儀重復(fù)性、準(zhǔn)確性和再現(xiàn)性都很出色
激光三維表面輪廓儀對(duì)材料表面三維輪廓測(cè)量、粗糙度測(cè)量、寬度、高度、角度、半徑、粗糙度等二維及三維數(shù)據(jù)分析，無(wú)需拼接即可直接測(cè)量大面積樣品。利用光的干涉，可以快速、準(zhǔn)確、高度檢測(cè)1nm~10mm高度模型的曲面想象。與接觸方式相比，不會(huì)對(duì)被測(cè)物造成任何損壞。與共焦模式相比，高分辨率的力無(wú)關(guān)放大倍率可以得到統(tǒng)一的結(jié)果。與AFM相比，它可以在廣泛的測(cè)量領(lǐng)域中快速測(cè)量。
激光三維表面輪廓儀中央組件掃描模塊（x/y方向樣??品掃描）可以與不同的傳感器（z方向測(cè)量）一起使用。目前主要配置是連接CF4激光共焦傳感器。在CF4激光共焦傳感器中，被照射的孔在被測(cè)表面上成像，激光束通過(guò)物鏡快速上下移動(dòng)，聚焦到被測(cè)物體上。只有當(dāng)焦平面與真實(shí)表面上的點(diǎn)配對(duì)時(shí)，探測(cè)器才會(huì)記錄表面信號(hào)。因此，物鏡必須移動(dòng)一個(gè)小的垂直步距，以便通過(guò)位移傳感器的位置移動(dòng)來(lái)測(cè)量信號(hào)。根據(jù)特殊的插值技術(shù)，系統(tǒng)的精度可以達(dá)到10nm以下。
1、高分辨率0.1nm。
2、在任何放大倍率下，分辨率都是統(tǒng)一的。
3、測(cè)量納米級(jí)。
4、測(cè)量高速、高精度、高分辨率的性能圖像。
5、可測(cè)量透明/半透明/不透明樣品。
6、無(wú)需無(wú)損，可輕松測(cè)量預(yù)處理程序。
6、出色的重復(fù)性、準(zhǔn)確性和再現(xiàn)性。
激光三維表面輪廓儀集圖像采集、圖像處理和網(wǎng)絡(luò)通訊于一體。它使用超高速處理器來(lái)收集和處理數(shù)字信號(hào)。內(nèi)置高動(dòng)態(tài)范圍CMOS傳感器，可準(zhǔn)確識(shí)別具有明暗差異的物體。它采用405nm藍(lán)色激光，大大提高了測(cè)量精度，配備一套圖形化軟件開發(fā)平臺(tái)和多種常用檢測(cè)流程包，大大降低了客戶的使用門檻。
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