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牛津電子束鍍膜機(jī)是化合物半導(dǎo)體器件制作中的一種重要工藝技術(shù)。它是在高真空狀態(tài)下由電子束加熱坩堝中的金屬，使其熔融后蒸發(fā)到所需基片上形成金屬膜。
1、定期清潔真空室并盡量抹干，每次都*洗干凈，以免造成越來越難洗的現(xiàn)象。烘干后再鍍膜，頭一爐應(yīng)比原來延長(zhǎng)四倍時(shí)間才鍍膜。
2、定期更換擴(kuò)散泵油，更換真空泵及羅茨泵油。更換擴(kuò)散泵油前一定要確認(rèn)真空度是否低于1X102Pa，擴(kuò)散泵里面的油溫是否*冷卻到常溫狀態(tài)后，方可進(jìn)行加熱或充大氣進(jìn)行拆卸，否則會(huì)產(chǎn)生傷害人的嚴(yán)重后果。
3、平時(shí)整個(gè)系統(tǒng)要保持真空狀態(tài)，工作前才充入氣體，不要使真空室長(zhǎng)期暴露在大氣中。
4、牛津電子束鍍膜機(jī)經(jīng)常檢查膠封是否良好，特別是動(dòng)密封圈，定期給動(dòng)密封處加上真空脂。
5、定期檢查電氣元件，清除灰塵，更換燒壞的元器件。
6、在真空狀態(tài)下不得拆卸擴(kuò)散泵和閥門。拆卸的方法是：先將整個(gè)真空系統(tǒng)抽至真空狀態(tài)，注意不要加熱擴(kuò)散泵，用手動(dòng)打開精抽閥，然后按放氣閥按鈕讓系統(tǒng)充入大氣，當(dāng)真空室充滿大氣后就可進(jìn)行拆卸擴(kuò)散泵和閥門。
7、停旋片泵、滑閥泵時(shí)，要注意電磁閥(或氣動(dòng)閥)是否向泵腔充氣，否則會(huì)引起回油，污染真空管道。因此，電磁閥(或氣動(dòng)閥)充氣動(dòng)作失靈時(shí)，必須及時(shí)進(jìn)行修理或更換。
8、對(duì)于偏北地區(qū)，在寒冷季節(jié)，夜間和較長(zhǎng)時(shí)間停機(jī)時(shí)，必須用壓縮氣體將冷卻水趕出冷卻管道、泵體，以免凍裂冷卻水管(套)和泵體。
9、精抽系統(tǒng)要待真空壓強(qiáng)達(dá)到3Pa后才能工作，若在過高的壓強(qiáng)下進(jìn)行抽氣，會(huì)使擴(kuò)散泵油氧化，降低抽氣能力，縮短泵油的使用壽命。
10、為保證真空鍍膜設(shè)備有清潔的工作環(huán)境，滑閥泵排出的氣體必須用管道將它排出工作房之外，因?yàn)閺幕y泵排出的氣體含有很多微小的油霧會(huì)污染被鍍的工件，嚴(yán)重影響膜層的質(zhì)量。
11、牛津電子束鍍膜機(jī)在工作過程中不得斷水，采用的冷卻水必須清潔，不得使用硬水或濁水作為冷卻水，否則會(huì)使冷卻水管沉積一層水垢，影響冷卻效果。
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