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牛津電子束鍍膜機(jī)在使用時(shí)需要注意些什么?

來源:上海騏銳信息科技有限公司   2022年07月24日 16:32  
  牛津電子束鍍膜機(jī)是化合物半導(dǎo)體器件制作中的一種重要工藝技術(shù)。它是在高真空狀態(tài)下由電子束加熱坩堝中的金屬,使其熔融后蒸發(fā)到所需基片上形成金屬膜。
  1、定期清潔真空室并盡量抹干,每次都*洗干凈,以免造成越來越難洗的現(xiàn)象。烘干后再鍍膜,頭一爐應(yīng)比原來延長四倍時(shí)間才鍍膜。
  2、定期更換擴(kuò)散泵油,更換真空泵及羅茨泵油。更換擴(kuò)散泵油前一定要確認(rèn)真空度是否低于1X102Pa,擴(kuò)散泵里面的油溫是否*冷卻到常溫狀態(tài)后,方可進(jìn)行加熱或充大氣進(jìn)行拆卸,否則會(huì)產(chǎn)生傷害人的嚴(yán)重后果。
  3、平時(shí)整個(gè)系統(tǒng)要保持真空狀態(tài),工作前才充入氣體,不要使真空室長期暴露在大氣中。
  4、牛津電子束鍍膜機(jī)經(jīng)常檢查膠封是否良好,特別是動(dòng)密封圈,定期給動(dòng)密封處加上真空脂。
  5、定期檢查電氣元件,清除灰塵,更換燒壞的元器件。
  6、在真空狀態(tài)下不得拆卸擴(kuò)散泵和閥門。拆卸的方法是:先將整個(gè)真空系統(tǒng)抽至真空狀態(tài),注意不要加熱擴(kuò)散泵,用手動(dòng)打開精抽閥,然后按放氣閥按鈕讓系統(tǒng)充入大氣,當(dāng)真空室充滿大氣后就可進(jìn)行拆卸擴(kuò)散泵和閥門。
  7、停旋片泵、滑閥泵時(shí),要注意電磁閥(或氣動(dòng)閥)是否向泵腔充氣,否則會(huì)引起回油,污染真空管道。因此,電磁閥(或氣動(dòng)閥)充氣動(dòng)作失靈時(shí),必須及時(shí)進(jìn)行修理或更換。
  8、對(duì)于偏北地區(qū),在寒冷季節(jié),夜間和較長時(shí)間停機(jī)時(shí),必須用壓縮氣體將冷卻水趕出冷卻管道、泵體,以免凍裂冷卻水管(套)和泵體。
  9、精抽系統(tǒng)要待真空壓強(qiáng)達(dá)到3Pa后才能工作,若在過高的壓強(qiáng)下進(jìn)行抽氣,會(huì)使擴(kuò)散泵油氧化,降低抽氣能力,縮短泵油的使用壽命。
  10、為保證真空鍍膜設(shè)備有清潔的工作環(huán)境,滑閥泵排出的氣體必須用管道將它排出工作房之外,因?yàn)閺幕y泵排出的氣體含有很多微小的油霧會(huì)污染被鍍的工件,嚴(yán)重影響膜層的質(zhì)量。
  11、牛津電子束鍍膜機(jī)在工作過程中不得斷水,采用的冷卻水必須清潔,不得使用硬水或濁水作為冷卻水,否則會(huì)使冷卻水管沉積一層水垢,影響冷卻效果。

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