牛津電子束鍍膜機在使用時需要注意些什么？

來源：上海騏銳信息科技有限公司 2022年07月24日 16:32

　　牛津電子束鍍膜機是化合物半導(dǎo)體器件制作中的一種重要工藝技術(shù)。它是在高真空狀態(tài)下由電子束加熱坩堝中的金屬，使其熔融后蒸發(fā)到所需基片上形成金屬膜。

　　1、定期清潔真空室并盡量抹干，每次都*洗干凈，以免造成越來越難洗的現(xiàn)象。烘干后再鍍膜，頭一爐應(yīng)比原來延長四倍時間才鍍膜。

　　2、定期更換擴散泵油，更換真空泵及羅茨泵油。更換擴散泵油前一定要確認真空度是否低于1X102Pa，擴散泵里面的油溫是否*冷卻到常溫狀態(tài)后，方可進行加熱或充大氣進行拆卸，否則會產(chǎn)生傷害人的嚴重后果。

　　3、平時整個系統(tǒng)要保持真空狀態(tài)，工作前才充入氣體，不要使真空室長期暴露在大氣中。

　　4、牛津電子束鍍膜機經(jīng)常檢查膠封是否良好，特別是動密封圈，定期給動密封處加上真空脂。

　　5、定期檢查電氣元件，清除灰塵，更換燒壞的元器件。

　　6、在真空狀態(tài)下不得拆卸擴散泵和閥門。拆卸的方法是：先將整個真空系統(tǒng)抽至真空狀態(tài)，注意不要加熱擴散泵，用手動打開精抽閥，然后按放氣閥按鈕讓系統(tǒng)充入大氣，當真空室充滿大氣后就可進行拆卸擴散泵和閥門。

　　7、停旋片泵、滑閥泵時，要注意電磁閥(或氣動閥)是否向泵腔充氣，否則會引起回油，污染真空管道。因此，電磁閥(或氣動閥)充氣動作失靈時，必須及時進行修理或更換。

　　8、對于偏北地區(qū)，在寒冷季節(jié)，夜間和較長時間停機時，必須用壓縮氣體將冷卻水趕出冷卻管道、泵體，以免凍裂冷卻水管(套)和泵體。

　　9、精抽系統(tǒng)要待真空壓強達到3Pa后才能工作，若在過高的壓強下進行抽氣，會使擴散泵油氧化，降低抽氣能力，縮短泵油的使用壽命。

　　10、為保證真空鍍膜設(shè)備有清潔的工作環(huán)境，滑閥泵排出的氣體必須用管道將它排出工作房之外，因為從滑閥泵排出的氣體含有很多微小的油霧會污染被鍍的工件，嚴重影響膜層的質(zhì)量。

　　11、牛津電子束鍍膜機在工作過程中不得斷水，采用的冷卻水必須清潔，不得使用硬水或濁水作為冷卻水，否則會使冷卻水管沉積一層水垢，影響冷卻效果。

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