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紫外臭氧清洗儀是一種簡單，經(jīng)濟，快速高效的材料表面清洗設(shè)備，采用長壽命U、石英低壓汞蒸汽格柵燈，樣品臺高度可調(diào)并可選加熱控溫，以便達到清洗效果。能快速去除大多數(shù)無機基材（比如石英，硅片，金，鎳，鋁，砷化鎵，氧化鋁等）上的有機污染物。
工作原理：
通過產(chǎn)生185nm和254nm高強度UV光分解有機分子（污染物）。185nm的光可以將氧分子O2轉(zhuǎn)變成活性的O3臭氧分子。254nm的光同時激發(fā)表面的有機分子，使其更容易被臭氧分子吸收并分解。由于臭氧分子存在時間短并且同時也被254nm光分解，樣品臺可以調(diào)節(jié)樣品到燈管的距離來優(yōu)化性能。PSD和PSDP分解有機污染物，然后形成CO2和H2O蒸氣，同時也將臭氧分子轉(zhuǎn)變成氧分子。
紫外臭氧清洗儀特點
1、UVO基礎(chǔ)型采用可編程數(shù)字控制器，設(shè)置操作簡單方便，四鍵操作控制。UVOP和UVOT系列采用5寸彩色觸摸屏設(shè)置顯示計時時間及加熱溫度。
2、自動補償功能，自動恒定光強光密度，不會因為低壓汞燈老化光強衰減影響清洗效果。
3、數(shù)字倒計時顯示清洗時間，1-999分鐘之間可自行設(shè)置清洗時間。
4、可隨時手動中斷處理過程。
5、自動記錄之前清洗參數(shù)設(shè)置。
6、樣品臺可控溫（可選），控溫范圍RT-260℃，控溫精度0.1℃。
7、頂置下壓式鉸鏈開關(guān)蓋方式，操作簡單方便。
8、上置式樣品臺設(shè)計，360度自由放置樣品，操作方便。
9、樣品臺高度可調(diào)，通過調(diào)節(jié)燈與樣品之間的間距，可以合理定位樣品高度和位置，并可鎖定。
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