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紫外臭氧清洗儀是一種簡(jiǎn)單、快速高效的材料表面清洗設(shè)備

來(lái)源:昆山瑞塞奇精密儀器有限公司   2022年07月25日 15:12  
   紫外臭氧清洗儀是一種簡(jiǎn)單,經(jīng)濟(jì),快速高效的材料表面清洗設(shè)備,采用長(zhǎng)壽命U、石英低壓汞蒸汽格柵燈,樣品臺(tái)高度可調(diào)并可選加熱控溫,以便達(dá)到清洗效果。能快速去除大多數(shù)無(wú)機(jī)基材(比如石英,硅片,金,鎳,鋁,砷化鎵,氧化鋁等)上的有機(jī)污染物。
  
  工作原理:
  通過(guò)產(chǎn)生185nm和254nm高強(qiáng)度UV光分解有機(jī)分子(污染物)。185nm的光可以將氧分子O2轉(zhuǎn)變成活性的O3臭氧分子。254nm的光同時(shí)激發(fā)表面的有機(jī)分子,使其更容易被臭氧分子吸收并分解。由于臭氧分子存在時(shí)間短并且同時(shí)也被254nm光分解,樣品臺(tái)可以調(diào)節(jié)樣品到燈管的距離來(lái)優(yōu)化性能。PSD和PSDP分解有機(jī)污染物,然后形成CO2和H2O蒸氣,同時(shí)也將臭氧分子轉(zhuǎn)變成氧分子。
  
  紫外臭氧清洗儀特點(diǎn)
  1、UVO基礎(chǔ)型采用可編程數(shù)字控制器,設(shè)置操作簡(jiǎn)單方便,四鍵操作控制。UVOP和UVOT系列采用5寸彩色觸摸屏設(shè)置顯示計(jì)時(shí)時(shí)間及加熱溫度。
  2、自動(dòng)補(bǔ)償功能,自動(dòng)恒定光強(qiáng)光密度,不會(huì)因?yàn)榈蛪汗療衾匣鈴?qiáng)衰減影響清洗效果。
  3、數(shù)字倒計(jì)時(shí)顯示清洗時(shí)間,1-999分鐘之間可自行設(shè)置清洗時(shí)間。
  4、可隨時(shí)手動(dòng)中斷處理過(guò)程。
  5、自動(dòng)記錄之前清洗參數(shù)設(shè)置。
  6、樣品臺(tái)可控溫(可選),控溫范圍RT-260℃,控溫精度0.1℃。
  7、頂置下壓式鉸鏈開(kāi)關(guān)蓋方式,操作簡(jiǎn)單方便。
  8、上置式樣品臺(tái)設(shè)計(jì),360度自由放置樣品,操作方便。
  9、樣品臺(tái)高度可調(diào),通過(guò)調(diào)節(jié)燈與樣品之間的間距,可以合理定位樣品高度和位置,并可鎖定。

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