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微流控芯片流量傳感器是利用熱力學(xué)原理對(duì)流道中的氣體介質(zhì)進(jìn)行流量檢測(cè)，具有很好的精度與重復(fù)性。采用新一代MEMS傳感器芯片技術(shù)，內(nèi)置有溫度傳感器，每只都進(jìn)行專有的溫度補(bǔ)償校準(zhǔn)，同時(shí)具有線性模擬電壓輸出，使用方便。流量傳感器還被廣泛應(yīng)用于工業(yè)過程控制、空氣和環(huán)境保護(hù)、便攜式儀器等領(lǐng)域，在工業(yè)生產(chǎn)、科學(xué)實(shí)驗(yàn)、產(chǎn)品質(zhì)量把控、生產(chǎn)效率提高、能源節(jié)約等方面發(fā)揮著重要作用。
微流控芯片流量傳感器將測(cè)量到的實(shí)際值饋送到電子控制部分與面板設(shè)置值比較，利用兩者間的誤差控制伺服閥門來調(diào)節(jié)吸入和呼出氣體流量；安裝在吸氣系統(tǒng)前端的空氣和氧氣流量傳感器生成的信號(hào)能幫助微處理器對(duì)閥門進(jìn)行控制，以提供所需要的氧濃度；流速和流量的檢測(cè)值還直接影響到呼氣與吸氣時(shí)的切換、分鐘通氣量上下限的報(bào)警、流量觸發(fā)靈敏度、氣流實(shí)時(shí)波形和P－V－環(huán)的監(jiān)測(cè)顯示等等，可見，流量傳感器性能的好壞直接影響到呼吸機(jī)參數(shù)的準(zhǔn)確性和可靠性。微流體流量傳感器為熱差式傳感器，通過接觸方式測(cè)量各種液體的流速。
微流控芯片流量傳感器用于準(zhǔn)確測(cè)量微流控裝置中的流量，實(shí)現(xiàn)雙向流速測(cè)量（正向和反向），具有高化學(xué)兼容性。我們壓力控制器系統(tǒng)（OB1MK3+多通道壓力真空控制器，AF1單通道壓力泵）都可以與微流體流量傳感器結(jié)合，用于直接監(jiān)測(cè)和控制流量。流量測(cè)量范圍：0.07μl/min?40,000μl/min響應(yīng)時(shí)間：<40ms誤差：<測(cè)量值5%兼容水和各種有機(jī)溶劑，雙向測(cè)量流速。
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