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氣體流量控制器主要用于對(duì)于氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制，采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量(無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償)，將傳感器加熱電橋測(cè)得的流量信號(hào)送入放大器放大，放大后的流量檢測(cè)電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較，再將差值信號(hào)放大后去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過(guò)通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。
氣體流量控制器使用注意事項(xiàng)：
1、安裝控制器首先是要考慮到的因素是其所在的環(huán)境，要盡量避開有振動(dòng)的地方，并且要在安裝的時(shí)候做好牢固的支撐，如果沒有辦法避免一定要安裝在震動(dòng)源的附近，可以選擇有*的氣體質(zhì)量流量控制器或使用軟管去連接。
2、安裝氣體質(zhì)量流量控制器的流量控制閥的時(shí)候，因?yàn)槠鋵儆诠?jié)流裝置，所以流量控制閥應(yīng)該安裝在設(shè)備的出口處。并且在氣體質(zhì)量流量控制器的出口和入口安裝截止閥，初次安裝時(shí)需要進(jìn)行零點(diǎn)校準(zhǔn)。安裝時(shí)要確保箭頭方向以及流體的流向要保持一致。
3、氣體質(zhì)量流量控制器安裝的位置需要遠(yuǎn)離泵出口，是為了防止由于過(guò)近而引起的氣體質(zhì)量流量控制器測(cè)量值的波動(dòng)，注意保溫殼體或是伴熱管是不能直接與傳感器殼接觸的，如接觸了可能會(huì)造成數(shù)據(jù)的污染。
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