手動(dòng)探針臺(tái)是廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的綜合經(jīng)濟(jì)型測試儀器,主要用于半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)檢測。以往如果需要測試電子元器件或系統(tǒng)的基本電性能(如電流、電壓、阻抗等)或工作狀態(tài),測試人員一般會(huì)采用表筆去點(diǎn)測。隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展,對(duì)于精密微?。{米級(jí))的微電子器件,表筆點(diǎn)到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應(yīng)運(yùn)而生,利用高精度微探針將被測原件的內(nèi)部訊號(hào)引導(dǎo)出來,便于其電性測試設(shè)備(不屬于本機(jī)器)對(duì)此測試、分析。
首先我們先來了解什么是探針臺(tái)?
它是一種輔助執(zhí)行機(jī)構(gòu),測試人員把需要量測的器件放到探針臺(tái)載物臺(tái)(chuck)上,在顯微鏡配合下,X-Y移動(dòng)器件,找到需要探測的位置。接下來測試人員通過旋轉(zhuǎn)探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕,控制前部探針(射頻或直流探針),精準(zhǔn)扎到被測點(diǎn),從而使其訊號(hào)線與外部測試機(jī)導(dǎo)通,通過測試機(jī)測試人員可以得到所需要的電性能參數(shù)。
主要功能:
搭配外接測試測半導(dǎo)體參數(shù)測試儀、示波器、網(wǎng)分等測試源表,量測半導(dǎo)體器件IVCV脈沖/動(dòng)態(tài)IV等參數(shù)。
探針探測到的信號(hào)可以通過探針桿上的電纜傳輸?shù)脚c其連接的測試機(jī)上,從而得到電性能的參數(shù)。對(duì)于重復(fù)測試同種器件,多個(gè)點(diǎn)位的推薦使用探針臺(tái)安裝探卡進(jìn)行測試。
應(yīng)用范圍:
手動(dòng)探針臺(tái)廣泛用于I-V/C-V測試,脈沖I-V測試,RF/mmW測試,高壓、大電流測試,MEMS、光電器件測試,晶圓級(jí)失效分析、霍爾測試等等應(yīng)用方向的測試測量。圖形化界面操作系統(tǒng)可方便設(shè)置多種外接電源、多個(gè)IV同時(shí)測試,數(shù)據(jù)圖表疊加顯示等多種功能,實(shí)現(xiàn)I-V/C-V等測試。
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