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紅外顯微鏡主要由載物臺、紅外光源、聚光鏡、物鏡、調(diào)焦機構(gòu)、圖像轉(zhuǎn)換管、目鏡、攝像頭及計算機等組成。目前紅外顯微鏡可以提供兩種范圍的紅外波長，可以滿足不同研究工作的需要。
系統(tǒng)組成：
紅外顯微鏡是將紅外光譜儀與光學(xué)顯微鏡聯(lián)用的系統(tǒng)。主要由紅外主機、紅外顯微鏡系統(tǒng)和計算機組成。紅外顯微鏡由于其精密性，多采用干涉原理，主要部件包括邁克爾遜干涉儀、顯微鏡光學(xué)系統(tǒng)、檢測器等。
由紅外光源發(fā)出的光經(jīng)分束器分為兩束光，一束由動鏡經(jīng)分束器反射到樣品后進入檢測器;另一束由定鏡反射經(jīng)分束器、樣品后到檢測器，兩束光作用于樣品，并在檢測器處發(fā)生干涉。干涉儀將光源來的信號經(jīng)過樣品后以干涉圖的形式送往計算機進行傅里葉變換的數(shù)學(xué)處理，最后將干涉圖還原為光譜圖。
測量方式：
紅外顯微鏡按其光路系統(tǒng)的差異，一般分為非同軸光路紅外顯微鏡和同軸光路紅外顯微鏡兩大類。非同軸光路紅外顯微鏡是較早推出使用的一類紅外顯微鏡，具有透射式和反射式兩種操作功能。同軸光路紅外顯微鏡是另一類紅外顯微鏡，也具有透射式和反射式兩種操作模式。也可以采用衰減全反射模式，它采用的是硅晶體。
根據(jù)紅外顯微鏡所測樣品的形態(tài)、性質(zhì)和測試要求，可以選擇透射、反射、衰減全反射三種測試模式。透射模式是測定樣品的主要方法，可提供較好的信噪比，適應(yīng)于測試透光性較好的樣品，如厚度小于20μm的薄膜、固體切片；反射模式是效率較高的一種測試方法，適應(yīng)于測定背景比較光亮、光反射較強的樣品，如微小顆粒樣片；衰減全反射模式，在某些情況下是*的一種測量方法，適應(yīng)于測定需進行表面成分或表面污染物分析的樣品。
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