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分享!真空鍍碳儀的操作流程和使用后的維護(hù)

來源:孚光精儀(中國)有限公司   2022年10月21日 15:22  
  真空鍍碳儀為SEM、TEM、STEM、EDS/WDS、EBSD和微探針分析提供高質(zhì)量的鍍膜技術(shù)。產(chǎn)品結(jié)構(gòu)緊湊,所占空間小。樣品室直徑150mm,可快速抽真空進(jìn)行鍍膜處理,處理周期約10分鐘。高真空條件下使用超純的碳棒為嚴(yán)格的高分辨掃描電鏡、透射電鏡、EBSD及探針分析提供高質(zhì)量的鍍膜處理。組件設(shè)計方式可方便地對不同優(yōu)化條件下的各種應(yīng)用進(jìn)行切換。
 

 

  真空鍍碳儀操作流程:
  1、連接電源并打開主機(jī)(POWER)。
  2、等綠燈亮后,再等3~5分鐘再調(diào)節(jié)電壓(4V)和時間(6s)。
  3、打開主機(jī)背面的小開關(guān),調(diào)整轉(zhuǎn)速在3~4檔,并設(shè)定電壓和時間。
  4、打開測厚儀并使其歸零。
  5、按START鍵開始噴碳。
  6、實(shí)驗(yàn)結(jié)束先停止設(shè)備轉(zhuǎn)動,并先關(guān)掉設(shè)備背面小開關(guān)。
  7、再關(guān)POWER。
  8、關(guān)機(jī)后打開玻璃罩上蓋,等其降到實(shí)溫之后再將其蓋好。
 
  使用后的必要維護(hù):
  1、為保證真空鍍膜設(shè)備有清潔的工作環(huán)境,滑閥泵排出的氣體必須用管道將它排出工作房之外,因?yàn)閺幕y泵排出的氣體含有很多微小的油霧會污染被鍍的工件,嚴(yán)重影響膜層的質(zhì)量。
  2、平時整個系統(tǒng)要保持真空狀態(tài),工作前才充入氣體,不要使真空室長期暴露在大氣中。
  3、經(jīng)常檢查膠封是否良好,特別是動密封圈,定期給動密封處加上真空脂。
  4、定期檢查電氣元件,清除灰塵,更換燒壞的元器件。
  5、定期清潔真空室并盡量抹干,每次都*洗干凈,以免造成越來越難洗的現(xiàn)象。烘干后再鍍膜,頭一爐應(yīng)比原來延長四倍時間才鍍膜。
  6、定期更換擴(kuò)散泵油,更換真空泵及羅茨泵油。更換擴(kuò)散泵油前一定要確認(rèn)真空度是否低于1X102Pa,擴(kuò)散泵里面的油溫是否*冷卻到常溫狀態(tài)后,方可進(jìn)行加熱或充大氣進(jìn)行拆卸,否則會產(chǎn)生傷害人的嚴(yán)重后果。

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