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掃描電子顯微鏡的原理及應(yīng)用

來源:昆山瑞塞奇精密儀器有限公司   2022年10月24日 11:50  
  掃描電子顯微鏡工作原理
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  電子槍產(chǎn)生的高能電子束入射到樣品的某個(gè)部位時(shí),在相互作用區(qū)內(nèi)發(fā)生彈性散射和非彈性散射事件,從而產(chǎn)生背散射電子、二次電子、吸收電子、特征和連續(xù)譜X射線、俄歇電子、陰極熒光等各種有用的信號(hào),利用合適的探測器檢測這些信號(hào)大小,就能夠確定樣品在該電子入射部位內(nèi)的某些性質(zhì),例如微區(qū)形貌或成分等。
  為了研究樣品上更多部位的特征,必須利用掃描系統(tǒng)移動(dòng)入射電子到樣品上的不同位置。
  (2)成像
  掃描電鏡的成像是靠掃描作用實(shí)現(xiàn)的。掃描發(fā)生器同時(shí)控制高能電子束和熒光屏中的電子束“同步掃描”,當(dāng)電子束在樣品上進(jìn)行柵格掃描時(shí),在熒光屏上也以相同的方式同步掃描,因此“樣品空間”上的一系列點(diǎn)就與“顯示空間”逐點(diǎn)對(duì)應(yīng)。
  換言之,樣品上電子束的各個(gè)位置與熒光屏上的各點(diǎn)確立了嚴(yán)格的對(duì)應(yīng)關(guān)系。樣品表面被電子束掃描,激發(fā)出各種物理信號(hào),其強(qiáng)度與樣品的表面特征有關(guān),這些信號(hào)通過探測器按順序、成比例地轉(zhuǎn)為視頻信號(hào),經(jīng)過放大,用來調(diào)制熒光屏對(duì)應(yīng)點(diǎn)的電子束強(qiáng)度,即光點(diǎn)的亮度,這就形成了掃描電鏡的圖像。而圖像上強(qiáng)度的變化反映出樣品的特性。
  掃描電鏡成像雖然不同光鏡和透射電鏡那樣直接由物體發(fā)出的光線或電子束成像,這種成像過程如同利用信號(hào)探測器作為攝像機(jī),對(duì)樣品表面逐點(diǎn)拍攝,把各點(diǎn)產(chǎn)生的信號(hào)轉(zhuǎn)換到熒光屏上成像。
  熒光屏上的圖像實(shí)際上是由一系列灰度不同的亮點(diǎn)組成,這個(gè)亮點(diǎn)稱為像素(Pixle)。像素點(diǎn)數(shù)越多,則圖像的分辨率越高。
  主要用途及適用范圍
  掃描電鏡可應(yīng)用于陶瓷材料分析、金屬材料失效分析。在石油、地質(zhì)、礦物領(lǐng)域,電子、半導(dǎo)體領(lǐng)域,醫(yī)學(xué)、生物學(xué)領(lǐng)域,化工、高分子材料領(lǐng)域,公安刑偵工作領(lǐng)域,以及農(nóng)、林業(yè)等方面都有廣泛應(yīng)用。
  掃描電鏡可進(jìn)行顯微形貌分析,如果配備了其它分析儀器也可進(jìn)行成分的常規(guī)微區(qū)分析,包括元素定量、定性成分分析。進(jìn)行顯微形貌分析時(shí),空間分辨率可達(dá)亞微米級(jí);能夠進(jìn)行晶界的狀態(tài)測量,或者晶體/晶粒的相鑒定,以及晶體、晶粒取向測量等;進(jìn)行微區(qū)成分分析時(shí),能夠通過快速的多元素面掃描和線掃描進(jìn)行分布測量。
  在現(xiàn)代產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)和科學(xué)研究中,掃描電鏡發(fā)展成為材料分析、監(jiān)控工農(nóng)業(yè)生產(chǎn)、保證產(chǎn)品質(zhì)量、保障大生產(chǎn)流程安全高效的必要手段;同時(shí)在生物、環(huán)保、醫(yī)學(xué)等有關(guān)人類的生存、發(fā)展領(lǐng)域的應(yīng)用也日新月異;在現(xiàn)代高科技方面的發(fā)展(例如生物化學(xué)戰(zhàn)爭、現(xiàn)場毒物檢測、生命保障任務(wù)等)發(fā)揮了巨大的作用。

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