手機版
化工儀器網(wǎng)手機版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
公眾號：chem17
掃碼關(guān)注視頻號
掃描電子顯微鏡工作原理
?。?）掃描
電子槍產(chǎn)生的高能電子束入射到樣品的某個部位時，在相互作用區(qū)內(nèi)發(fā)生彈性散射和非彈性散射事件，從而產(chǎn)生背散射電子、二次電子、吸收電子、特征和連續(xù)譜X射線、俄歇電子、陰極熒光等各種有用的信號，利用合適的探測器檢測這些信號大小，就能夠確定樣品在該電子入射部位內(nèi)的某些性質(zhì)，例如微區(qū)形貌或成分等。
為了研究樣品上更多部位的特征，必須利用掃描系統(tǒng)移動入射電子到樣品上的不同位置。
?。?）成像
掃描電鏡的成像是靠掃描作用實現(xiàn)的。掃描發(fā)生器同時控制高能電子束和熒光屏中的電子束“同步掃描”，當(dāng)電子束在樣品上進行柵格掃描時，在熒光屏上也以相同的方式同步掃描，因此“樣品空間”上的一系列點就與“顯示空間”逐點對應(yīng)。
換言之，樣品上電子束的各個位置與熒光屏上的各點確立了嚴(yán)格的對應(yīng)關(guān)系。樣品表面被電子束掃描，激發(fā)出各種物理信號，其強度與樣品的表面特征有關(guān)，這些信號通過探測器按順序、成比例地轉(zhuǎn)為視頻信號，經(jīng)過放大，用來調(diào)制熒光屏對應(yīng)點的電子束強度，即光點的亮度，這就形成了掃描電鏡的圖像。而圖像上強度的變化反映出樣品的特性。
掃描電鏡成像雖然不同光鏡和透射電鏡那樣直接由物體發(fā)出的光線或電子束成像，這種成像過程如同利用信號探測器作為攝像機，對樣品表面逐點拍攝，把各點產(chǎn)生的信號轉(zhuǎn)換到熒光屏上成像。
熒光屏上的圖像實際上是由一系列灰度不同的亮點組成，這個亮點稱為像素(Pixle)。像素點數(shù)越多，則圖像的分辨率越高。
主要用途及適用范圍
掃描電鏡可應(yīng)用于陶瓷材料分析、金屬材料失效分析。在石油、地質(zhì)、礦物領(lǐng)域，電子、半導(dǎo)體領(lǐng)域，醫(yī)學(xué)、生物學(xué)領(lǐng)域，化工、高分子材料領(lǐng)域，公安刑偵工作領(lǐng)域，以及農(nóng)、林業(yè)等方面都有廣泛應(yīng)用。
掃描電鏡可進行顯微形貌分析，如果配備了其它分析儀器也可進行成分的常規(guī)微區(qū)分析，包括元素定量、定性成分分析。進行顯微形貌分析時，空間分辨率可達亞微米級；能夠進行晶界的狀態(tài)測量，或者晶體/晶粒的相鑒定，以及晶體、晶粒取向測量等；進行微區(qū)成分分析時，能夠通過快速的多元素面掃描和線掃描進行分布測量。
在現(xiàn)代產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)和科學(xué)研究中，掃描電鏡發(fā)展成為材料分析、監(jiān)控工農(nóng)業(yè)生產(chǎn)、保證產(chǎn)品質(zhì)量、保障大生產(chǎn)流程安全高效的必要手段；同時在生物、環(huán)保、醫(yī)學(xué)等有關(guān)人類的生存、發(fā)展領(lǐng)域的應(yīng)用也日新月異；在現(xiàn)代高科技方面的發(fā)展（例如生物化學(xué)戰(zhàn)爭、現(xiàn)場毒物檢測、生命保障任務(wù)等）發(fā)揮了巨大的作用。
相關(guān)產(chǎn)品
免責(zé)聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負(fù)責(zé)，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題，請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
采購中心