本文導(dǎo)語

Supra/Supra+系列光電子能譜儀的水冷系統(tǒng)主要用于x射線源陽極靶，單色器晶體、渦輪分子泵、磁透鏡、成像CCD等部件的冷卻。

水冷機(jī)及連接儀器主機(jī)的冷卻水路，如下圖所示：

水冷機(jī)注意的事項(xiàng)

水冷機(jī)需要注意的是液位、水溫、電導(dǎo)率、水壓這幾個方面。

液位低了需要及時補(bǔ)充去離子水。如果液位是短時間內(nèi)降低的話就需要檢查一下是否有漏水，尤其是各個水管的接頭處。

水溫通常設(shè)定在20攝氏度，如果出現(xiàn)溫度不穩(wěn)的情況，首先檢查散熱葉片上是否積聚了很多灰塵，清潔后還是不正常的話就需要聯(lián)系工程師解決。

電導(dǎo)率要求小于1μS/cm，高了的話需要及時清潔并更換去離子樹脂罐。

水壓通常設(shè)定在0.4至0.5MPa左右，其大小可以通過水冷機(jī)內(nèi)部的旁通閥調(diào)整，但要注意過高的水壓設(shè)定會加重水泵的輸出負(fù)擔(dān)而影響其壽命。

上圖為：兩種型號的水冷機(jī)控制及顯示界面

上圖為：更換去離子樹脂罐

水冷機(jī)與儀器的水路中間有一個濾芯，平時需要檢查是否變質(zhì)或者堵塞并及時更換。

在儀器待機(jī)情況下，只有MAG LENS氣動水閥打開。

當(dāng)使用Mono X射線槍時，增壓泵打開，Mono XRAY GUN氣動水閥打開，Magnetic lens flow必須大于1.2 L/min，Mono X-ray source flow必須大于設(shè)定的Min. water flow (l/min)數(shù)值，通常設(shè)定在4至5.5L/min之間，否則程序報錯。

當(dāng)使用雙陽極X射線槍時，增壓泵打開，Dual XRAY GUN氣動水閥打開，Magnetic lens flow必須大于1.2 L/min，Achromatic X-ray source flow必須大于設(shè)定的Min. water flow (l/min)數(shù)值，通常設(shè)定2至2.5L/min之間，否則程序報錯。

當(dāng)儀器烘烤時，Magnetic lens氣動水閥關(guān)閉，Main circuit flow必須大于1L/min，否則真空單元報錯，烘烤程序終止。

內(nèi)部水路維護(hù)的部件及位置

儀器內(nèi)部水路需要維護(hù)的部件主要是水流傳感器和限流孔。

當(dāng)冷卻水的異物堵塞在水流傳感器或限流孔內(nèi)部時，會造成水流異常并且報錯。這時需要拆開水流傳感器或限流孔檢查清潔，甚至更換。當(dāng)氣路、電磁閥或氣動水閥出現(xiàn)故障導(dǎo)致水流異常時，則需要對相應(yīng)的部件進(jìn)一步檢查排除。

上圖為：Supra的水流傳感器及限流孔所在位置

上圖為：Supra+的電磁閥、水流傳感器、氣動水閥、限流孔所在位置

限流孔堵塞了用牙簽把異物挑出即可，切勿使用金屬等硬物大力貫穿其中，容易造成限流孔變大從而導(dǎo)致其他回路水流變小。