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真空鍍碳儀對(duì)樣品室有什么特殊之處?

來(lái)源:孚光精儀(中國(guó))有限公司   2022年10月26日 14:52  
  真空鍍碳儀是目前較為先進(jìn)的對(duì)樣品進(jìn)行預(yù)處理的儀器。主要適用于掃描電子顯微(SEM)和X射線微觀分析等表征工作前的鍍碳處理。*的蒸發(fā)源反饋控制技術(shù)保證了20nm厚的桿狀蒸發(fā)源也能夠正常工作。同時(shí),該產(chǎn)品結(jié)構(gòu)合理緊湊,易于操作,抽放氣周期較快。
 

 

  技術(shù)特點(diǎn):
  1、電流、電壓檢測(cè)器和先進(jìn)的反饋控制技術(shù)使得鍍碳過(guò)程穩(wěn)定、高效。
  2、脈沖、連續(xù)模式隨意切換。
  3、提供“手動(dòng)”和“自動(dòng)”兩種模式。
  ①手動(dòng)模式下:可調(diào)節(jié)電壓和時(shí)間旋鈕來(lái)控制鍍 碳工藝;
 ?、谧詣?dòng)模式下:客戶只需提前設(shè)定好 程序,鍍碳儀就按照您的指令運(yùn)行。,易于操作,抽放氣周期較快。
 
  碳蒸發(fā)控制:
  真空鍍碳儀對(duì)碳棒-碳蒸發(fā)源使用*的集成的反饋控制設(shè)計(jì)。
  電流和電壓通過(guò)磁控頭的傳感線監(jiān)控,蒸發(fā)源作為反饋回路中的一部分被控制。該蒸發(fā)裝置使常規(guī)的碳棒具有優(yōu)良的穩(wěn)定性和重現(xiàn)性。功率消耗低,碳棒具有異常的重新蒸鍍特性。
  蒸發(fā)源使用兩步超純碳棒。
  蒸發(fā)源可以手動(dòng)“脈沖”或“連續(xù)”的方式進(jìn)行鍍膜。“脈沖”方式如果和膜厚監(jiān)測(cè)儀一起使用,可以準(zhǔn)確得到所需要的膜厚。自動(dòng)方式下的操作非常方便,操作者只要設(shè)定電壓和時(shí)間,可以得到一致的鍍膜效果。
 
  真空鍍碳儀的樣品室:
  1、樣品室的組件設(shè)計(jì)方式可適應(yīng)多種附件使用。
  2、通過(guò)簡(jiǎn)單調(diào)節(jié)工作距離,可方便地調(diào)節(jié)蒸發(fā)速率。
  3、*的標(biāo)準(zhǔn)化高/低真空壓力調(diào)節(jié)通過(guò)精密針閥完成。
  4、高真空用于*高質(zhì)量地鍍膜,如用于TEM制樣。
  5、低真空用于TEM柵網(wǎng)的輝光放電清潔以及掃描電鏡觀察中形貌復(fù)雜樣品的鍍膜。
  6、對(duì)于SEM、EDS/WDS和探針?lè)治?,旋轉(zhuǎn)-行星轉(zhuǎn)動(dòng)-傾斜樣品臺(tái)可對(duì)同時(shí)多個(gè)樣品進(jìn)行一致的鍍膜處理。
  7、旋轉(zhuǎn)-傾斜臺(tái)特別為T(mén)EM樣品處理設(shè)計(jì),而且可以放置25x75mm的玻片。

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