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電子遷移率光譜儀用于檢測空氣分子級污染，在監(jiān)測到含酸類、胺類、氨以及氯化物氣體時提醒用戶。它具有ppt級的靈敏度，傳感器反應迅速、監(jiān)測選擇性廣、性能穩(wěn)定。傳感器配有zhong央控制軟件，可以輕松地采集分析數(shù)據(jù)。傳感器提供連續(xù)可追溯的數(shù)據(jù)，來快速回應污染源和污染事件。
電子遷移率光譜儀操作規(guī)程
1、首先檢查光譜儀后面的電源開關、光源開關是否處于關閉狀態(tài),如因停電等原因而處于開啟，必須先關閉。然后打開墻上的磁力開關，開啟穩(wěn)壓器開關，等電壓穩(wěn)定后再打開光譜儀的電源開關、光源開關。啟動計算機，打開氬氣過濾器電源，打開氬氣瓶總閥，將出端壓力調(diào)整到0.55Mp。
2、雙擊分析圖標進入分析界面。計算機下方的空氣室溫度顯示、UV室溫度顯示到達加熱溫度后方可進行分析。
3、ICAL（大曲線）校正
按F7，用ICAL專用樣塊分析校正，做五次，每次數(shù)據(jù)應接近，不好的數(shù)據(jù)可刪除重做。
4、類型校正方法：（標樣校正）點F8(測量類型校正)，點標樣,點Yes,按F2開始.做三次,用F9存盤(平均值)。
應用
在蝕刻技術位置里的實時腐蝕監(jiān)測
在關鍵的光刻系統(tǒng)內(nèi)的實時胺類以及氨的監(jiān)測
化學過濾器有效率的資格確認
遍及潔凈室以及生產(chǎn)工具里的污染源的追蹤和去除
前端開口片盒圓晶片存儲模塊內(nèi)的污染分析
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