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HITACHI掃描電鏡的產(chǎn)品特性介紹

來源:上海首放電子科技有限公司   2022年12月05日 13:14  
  HITACHI掃描電鏡特點:
 
  *高分辨成像
 
  日立的高亮度電子源可保證了即使在低著陸電壓下,也可獲得高分辨的圖像。
 
  高襯度的低加速電壓背散射圖像
 
  3D NAND截面觀察;
 
  在低加速電壓條件下,背散射電子信號能夠顯示出氧化硅層和氮化硅層的襯度差別。
 
  快速BSE圖像:新型閃爍體背散射電子探測器(OCD)*
 
  由于使用了新型的OCD探測器,即使掃描時間不到1秒,也仍然可以觀察到Fin-FET清晰的深層結(jié)構(gòu)圖像。
 
  自動化功能*
 
  EM Flow Creator 允許客戶創(chuàng)建連續(xù)圖像采集的自動化工作流程。EM Flow Creator將不同的SEM功能定義為圖形化的模塊,如設(shè)置放大倍率、移動樣品位置、調(diào)節(jié)焦距和明暗對比度等。用戶可以通過簡單的鼠標拖拽,將這些模塊按邏輯順序組成一個工作程序。經(jīng)過調(diào)試和確認后,該程序便可以在每次調(diào)用時自動獲得高質(zhì)量、重現(xiàn)性好的圖像數(shù)據(jù)。
 
  靈活的用戶界面
 
  原生支持雙顯示器,提供靈活、高效的操作空間。6通道同時顯示與保存,實現(xiàn)快速的多信號觀測與采集。
 

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