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探針臺是一種成熟的工具，用于測試硅晶片、裸片和開放式微芯片上的電路和設(shè)備。它允許用戶將電子、光學(xué)或射頻探針放置在設(shè)備上，然后測試該設(shè)備對外部刺激(電子、光學(xué)或射頻)的響應(yīng)。這些測試可以很簡單，例如連續(xù)性或隔離檢查，也可以更復(fù)雜，涉及復(fù)雜微電路的全功能測試。它的應(yīng)用行業(yè)有許多，常見的包括半導(dǎo)體、光電以及集成電路等行業(yè)，半導(dǎo)體企業(yè)不僅有效促進了經(jīng)濟發(fā)展。主要用于半導(dǎo)體材料、微納米器件、磁性材料、自旋電子器件及相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域的電、磁學(xué)特性測試，能夠提供磁場或變溫環(huán)境，并進行高精度的直流/射頻測量。
可以在整個晶圓上或被鋸成單個芯片后運行測試。整個晶圓級的測試允許制造商在整個生產(chǎn)過程的不同階段多次測試設(shè)備，并密切監(jiān)控制造以查看是否存在任何缺陷。在封裝之前對單個芯片進行測試可以將有缺陷的器件從流通中移除，確保僅封裝功能器件。在整個研發(fā)、產(chǎn)品開發(fā)和故障分析中都有很大的用途，工程師需要靈活而準確的工具來對設(shè)備的不同區(qū)域進行一系列測試。
探針臺應(yīng)放在堅固穩(wěn)定的臺面上，如地基有震動的情況，需要配置主動防震裝置，避免在高溫、潮濕、激烈震動、陽光直接照射和灰塵較多的環(huán)境下使用。使用溫度范圍為5℃～40℃，濕度是40%到85%，空氣中之濕度若低于30%以下，可靠濕度控制器予以控制，使維持50%～60%之范圍。使用時門窗盡可能關(guān)閉，使室內(nèi)達到除濕效果。
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