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荷蘭bronkhorst P-502CM電子壓力傳感器誤差介紹

來(lái)源:東莞市廣聯(lián)自動(dòng)化科技有限公司   2022年12月08日 16:23  

   荷蘭bronkhorst P-502CM電子壓力傳感器專(zhuān)為滿足半導(dǎo)體市場(chǎng)以及其他高純度氣體應(yīng)用的要求而設(shè)計(jì)。這些儀器具有高表面質(zhì)量,采用模塊化結(jié)構(gòu),采用金屬對(duì)金屬密封,可確保長(zhǎng)期密封性。P-502CM 適用于精確測(cè)量 2…100 mbar 和 1.28…64 bar 絕對(duì)壓力或 0.42...21 bar 表壓之間的壓力范圍。EPT 具有久經(jīng)考驗(yàn)的緊湊型直通流設(shè)計(jì),包括隔膜式壓阻式壓力傳感器、帶信號(hào)和現(xiàn)場(chǎng)總線轉(zhuǎn)換功能的基于微處理器的印刷電路板以及用于通過(guò)單獨(dú)安裝的控制閥進(jìn)行可選壓力控制的 PID 控制器.

   荷蘭bronkhorst P-502CM電子壓力傳感器有以下誤差:

首先的偏移量誤差:由于壓力傳感器在整個(gè)壓力范圍內(nèi)垂直偏移保持恒定,因此變換器擴(kuò)散和激光調(diào)節(jié)修正的變化將產(chǎn)生偏移量誤差。

其次是靈敏度誤差:產(chǎn)生誤差大小與壓力成正比。如果設(shè)備的靈敏度高于典型值,靈敏度誤差將是壓力的遞增函數(shù)。如果靈敏度低于典型值,那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數(shù)。該誤差的產(chǎn)生原因在于擴(kuò)散過(guò)程的變化。

第三是線性誤差:這是一個(gè)對(duì)壓力傳感器初始誤差影響較小的因素,該誤差的產(chǎn)生原因在于硅片的物理非線性,但對(duì)于帶放大器的傳感器,還應(yīng)包括放大器的非線性。線性誤差曲線可以是凹形曲線,也可以是凸形曲線稱(chēng)重傳感器。

最后是滯后誤差:在大多數(shù)情形中,壓力傳感器的滯后誤差可以忽略不計(jì),因?yàn)楣杵哂泻芨叩臋C(jī)械剛度。一般只需在壓力變化很大的情形中考慮滯后誤差。

荷蘭bronkhorst P-502CM電子壓力傳感器的這個(gè)四個(gè)誤差是無(wú)法避免的,我們只能選擇高精度的生產(chǎn)設(shè)備,利用技術(shù)來(lái)降低這些誤差,還可以在出廠的時(shí)候進(jìn)行一定的誤差校準(zhǔn),盡最大的可能來(lái)降低誤差以滿足客戶的需要。

  荷蘭bronkhorst P-502CM電子壓力傳感器技術(shù)規(guī)格:

絕對(duì)壓力傳感器代碼:350A - 范圍 (FS):100 ... 350 mbara - P-max:1,0 bara - 爆破壓力:1,4 bara

代碼:1K1A - 范圍 (FS):0,35 ... 1,1 bara - P-max:3,1 bara - 爆破壓力:4,2 bara

代碼:6K0A - 范圍 (FS):1,1 ... 6 bara - P-max:10,5 bara - 爆破壓力:14 bara

代碼:21KA - 范圍 (FS):6 ... 21 bara - P-max:62 bara - 爆破壓力:84 bara

代碼:64KA - 范圍 (FS):21 ... 64 bara - P-max:100 bara爆破壓力:不適用

相對(duì)壓力傳感器代碼:350R - 范圍 (FS):100 ... 350 mbarg - P-max:1,0 barg - 爆破壓力:1,4 barg

代碼:1k1R - 范圍 (FS):0,35 ... 1,1 barg - P-max:3,1 barg - 爆破壓力:4,2 barg

代碼:6K0R - 范圍 (FS):1,1 ... 6 barg - P-max:10,5 barg - 爆破壓力:14 barg

代碼:21KR - 范圍 (FS):6 ... 21 barg - P-max:62 barg - 爆破壓力:84 barg

精度(包括線性度和滯后)標(biāo)準(zhǔn):± 0,5 % 滿量程

重復(fù)性< 0,1 % 研發(fā)

壓力范圍壓力表1:50;

1 : 20 用于 P2 控制;1 : 5 用于 P1 控制

響應(yīng)時(shí)間(傳感器)2毫秒

工作溫度-10 … +50 °C

至 +70°C 應(yīng)要求提供

溫度敏感性0,1%滿量程/°C

泄漏完整性,舷外< 2 x 10 -11 Pa.m 3 /s 他

態(tài)度敏感度可以安裝在任何位置

熱身時(shí)間微不足道

東莞市廣聯(lián)自動(dòng)化科技有限公司專(zhuān)業(yè)供應(yīng)進(jìn)口電磁閥、氣缸、泵、傳感器、繼電器、開(kāi)關(guān)、離合器、過(guò)濾器、濾芯、流量計(jì)、液位計(jì)、編碼器、伺服閥等產(chǎn)品。德國(guó)美國(guó)有公司,廠家一手貨源,詳請(qǐng)致電。

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