GF80系列美國brooks流量控制器采用暢銷的 GF100 系列相同的快速響應傳感器和獲得的第 4代MultiFlo ™ 技術(shù)進行設計,它是需要以提供高性能的操作的正確選擇觀點。轉(zhuǎn)向金屬密封 MFC 帶來了 MultiFlo TM多氣體/多范圍能力的全部優(yōu)勢,因為可以使用的氣體沒有限制,由于消除了氧氣通過彈性體的滲透而提高了氣體的純度,并且減少了在維護中,因為金屬密封件將無限期地持續(xù)使用。
GF80系列美國brooks流量控制器優(yōu)點如下:
快速 <1 秒的流量穩(wěn)定時間消除了浪費的氣體和過程可變性
沒有可以透氧的彈性體密封件,隨著時間的推移需要更換
MultiFlo TM簡化并簡化了工藝氣體的變化——不再需要移除和校準 MFC
可在 60 秒內(nèi)設置新氣體和/或范圍
測量精度不受溫度變化影響
方便地訪問診斷端口以最大限度地延長正常運行時間
緊湊的尺寸便于集成到狹小的機器空間;改造的選擇
多協(xié)議通信接口簡化了與現(xiàn)有系統(tǒng)的集成
GF80系列美國brooks流量控制器產(chǎn)品特征:
每年 <±0.5% 滿量程的長期零位穩(wěn)定性
<1 秒的穩(wěn)定時間
滿量程流速高達 300 slpm
全金屬密封流路 - 16µ 英寸 Ra 表面光潔度
耐腐蝕的 Hastelloy® 傳感器可以在較低溫度下用于易于熱分解的氣體
可編程 MultiFlo TM功能——一個設備,數(shù)千種氣體類型和范圍組合,無需從氣體管線中移除 MFC 或影響精度
通過主動溫度補償實現(xiàn)的溫度系數(shù)規(guī)格
嵌入式自檢程序和獨立的診斷/服務端口
帶 VCR 配件的超薄機身
DeviceNet TM、Profibus®、RS-485 和模擬接口
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