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布魯克bruker臺(tái)階儀輪廓儀可容納高達(dá)350mmx350mm的樣品，為大型晶圓和面板制造帶來(lái)Dektak®傳奇的可重復(fù)性。DektakXTL具有空氣振動(dòng)隔離設(shè)計(jì)和全封閉工作站設(shè)計(jì)，具有易用的聯(lián)鎖門(mén)，是當(dāng)今苛刻的生產(chǎn)車(chē)間環(huán)境的的理想之選。其雙攝像頭架構(gòu)可增強(qiáng)空間感知能力，其高自動(dòng)化水平可大限度地提高測(cè)試通量。
增強(qiáng)的軟件功能使DektakXTL成為功能強(qiáng)大、容易使用的探針式輪廓儀。該系統(tǒng)利用Vision64軟件，通過(guò)數(shù)百種內(nèi)置分析工具實(shí)現(xiàn)眾多的測(cè)量位點(diǎn)、3D成像和高度自定義的特征分析。Vision64軟件還能測(cè)量形狀，如曲率半徑。模式識(shí)別可大限度地減少操作員誤差并提高測(cè)量位置精度。集成化的軟件包將數(shù)據(jù)收集和分析與直觀(guān)的工作流程相結(jié)合。
DektakXTL以50布魯克bruker臺(tái)階儀輪廓儀多年的探針式輪廓儀的專(zhuān)業(yè)知識(shí)和生產(chǎn)設(shè)施的應(yīng)用程序定制為基礎(chǔ)，以滿(mǎn)足當(dāng)今和未來(lái)嚴(yán)格的行業(yè)路線(xiàn)圖。300毫米高精度編碼XY樣品臺(tái)為制造商提供了滿(mǎn)足嚴(yán)格計(jì)量研發(fā)要求的可靠工具。
Dektak的雙攝像頭控制與高清放大雙視場(chǎng)相機(jī)提供增強(qiáng)的空間感知。實(shí)時(shí)視頻中的點(diǎn)擊定位使操作員能夠快速將樣品移動(dòng)到正確的位置，以便快速輕松地進(jìn)行測(cè)量設(shè)置和自動(dòng)化編程。該系統(tǒng)的大型聯(lián)鎖門(mén)為樣品裝載/卸載提供了安全、方便的訪(fǎng)問(wèn)。
其他硬件功能包括：
單拱形架構(gòu)和集成振動(dòng)隔離系統(tǒng)
快速更換自對(duì)齊探針
高精度編碼XY樣品臺(tái)，實(shí)現(xiàn)更快的自動(dòng)數(shù)據(jù)收集
N-Lite低力，采用軟觸控技術(shù)，具有1mm測(cè)量范圍，可同時(shí)用于測(cè)量精密和高垂直范圍樣品
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