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開(kāi)啟式管式爐是一種金屬熱處理工藝，利用紅外燈管加熱技術(shù)和腔體冷壁技術(shù)，實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫，從而實(shí)現(xiàn)特定熱處理工藝。指的是將金屬緩慢加熱到一定溫度，保持足夠時(shí)間，然后以適宜速度冷卻，有時(shí)是自然冷卻，有時(shí)是控制速度冷卻的熱處理方法。
其主要應(yīng)用領(lǐng)域是以集成電路領(lǐng)域（以硅為代表的一代半導(dǎo)體）和光電子領(lǐng)域（以砷化鎵代表的二代半導(dǎo)體）為代表的半導(dǎo)體領(lǐng)域。在半導(dǎo)體工藝中，熱處理/退火是不可少的工藝，這是因?yàn)榘雽?dǎo)體器件都是為了實(shí)現(xiàn)功能化，這就意味著電信號(hào)的輸入/輸出，這些都需要金屬電極來(lái)協(xié)助完成。
開(kāi)啟式管式爐是由加熱室和自動(dòng)溫度控制器組成的，下面咱們來(lái)詳細(xì)了解下：
1、加熱室：由耐火材料和碳化硅、氧化鎂、氧化鋁等組成，電加熱絲為鎳鉻合金絲。外面是用鐵板做的，上面涂有皺紋漆。爐門(mén)上有一個(gè)小洞，里面嵌著透明的云母片，可以窺視爐子的情況。
2、自動(dòng)溫度控制器：是電子管的高頻振蕩電路，其中儲(chǔ)能線圈由于耦合儲(chǔ)能裝置的適當(dāng)配合而固定在一定的振蕩頻率上。儲(chǔ)能線圈具有恒溫指標(biāo)和大熱電偶溫度計(jì)，能清楚地指示高溫?zé)Y(jié)爐的溫度。指針上有一面小金屬旗。當(dāng)爐溫升到所需溫度時(shí)，溫度指數(shù)很小。當(dāng)旗子與儲(chǔ)能線圈耦合時(shí)，振蕩電流隨機(jī)停止，管板極性電流發(fā)生變化，使其動(dòng)作靈敏，然后控制強(qiáng)繼電器切斷電熱絲電流，使溫度不再升高。當(dāng)溫度下降時(shí)，指針的標(biāo)志與儲(chǔ)能線圈失去耦合，管恢復(fù)振蕩，受控強(qiáng)繼電器也恢復(fù)振蕩。同時(shí)，通過(guò)電流可以恢復(fù)，爐溫可以逐漸升高，這樣由于電流的不連續(xù)性，達(dá)到了自動(dòng)保持一定溫度的目的。
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