一文了解什么是真空光纖饋通

來源：上海聞奕光電科技有限公司 2023年02月07日 10:58

　　真空光纖饋通采用金屬耦合的方式(高真空光纖真空饋通采用O圈密封)來實(shí)現(xiàn)更高的真空度，以滿足實(shí)驗(yàn)需求?？梢詫⒐鈱?dǎo)入或?qū)С稣婵帐遥詫?shí)現(xiàn)超高真空的應(yīng)用場(chǎng)合，例如半導(dǎo)體處理的光學(xué)監(jiān)測(cè)和薄膜吸附的檢測(cè)。采用VFT光纖過真空裝置可以檢測(cè)真空環(huán)境下，樣品的透射/吸收，以及熒光反射等光學(xué)反應(yīng)。

　　光纖饋通兩端都是SMA905公接頭；可以使用匹配套管連接光纖跳線。對(duì)于真空環(huán)境內(nèi)部的饋通面，下方提供ADASMA兼容真空的SMA至SMA匹配套管，可用于連接兼容真空的跳線。此轉(zhuǎn)接件由304不銹鋼制成，用于超高真空(>10-10 Torr)系統(tǒng)，且具有Ø0.063英寸(Ø1.6 mm)通孔，作為通氣口，以釋放內(nèi)部氣體。在真空環(huán)境中使用光纖跳線時(shí)，請(qǐng)確保跳線兼容真空。

　　在隔空箱和高壓應(yīng)用場(chǎng)合下有較好的表現(xiàn)，真空度高達(dá)Z大 10^-7 mbar ，操作溫度為200 °C(定制最高達(dá)300 °C)。

　　真空室要求壁厚5-40 mm，在腔體上開一個(gè)直徑12mm的圓孔即可，注意緊貼O型圈的一面盡量光潔無劃痕。

　　使用光潔度高的金屬或者玻璃腔體，使VFT在超高真空應(yīng)用場(chǎng)合的表現(xiàn)得到提高。

　　VFT光纖過真空裝置除了在半導(dǎo)體和薄膜處理方面的應(yīng)用，還是環(huán)境檢測(cè)、藥物學(xué)處理和光學(xué)涂層生產(chǎn)的理想工具。它還可以應(yīng)用在分子束外延和化學(xué)物理的蒸汽吸附方面，可以作為配合隔空箱、手套箱和中壓裝置的性能優(yōu)異的通管。

　　VFT真空光纖饋通的高壓與低壓面的終端可與SMA905連接器相連接，可以簡(jiǎn)單地與聞奕光電的光纖、光源、配件共同使用，以及公司的光譜儀等光學(xué)設(shè)備。

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