真空光纖饋通采用金屬耦合的方式(高真空光纖真空饋通采用O圈密封)來(lái)實(shí)現(xiàn)更高的真空度,以滿足實(shí)驗(yàn)需求。可以將光導(dǎo)入或?qū)С稣婵帐?,以?shí)現(xiàn)超高真空的應(yīng)用場(chǎng)合,例如半導(dǎo)體處理的光學(xué)監(jiān)測(cè)和薄膜吸附的檢測(cè)。采用VFT光纖過(guò)真空裝置可以檢測(cè)真空環(huán)境下,樣品的透射/吸收,以及熒光反射等光學(xué)反應(yīng)。
光纖饋通兩端都是SMA905公接頭;可以使用匹配套管連接光纖跳線。對(duì)于真空環(huán)境內(nèi)部的饋通面,下方提供ADASMA兼容真空的SMA至SMA匹配套管,可用于連接兼容真空的跳線。此轉(zhuǎn)接件由304不銹鋼制成,用于超高真空(>10-10 Torr)系統(tǒng),且具有Ø0.063英寸(Ø1.6 mm)通孔,作為通氣口,以釋放內(nèi)部氣體。在真空環(huán)境中使用光纖跳線時(shí),請(qǐng)確保跳線兼容真空。
在隔空箱和高壓應(yīng)用場(chǎng)合下有較好的表現(xiàn),真空度高達(dá)Z大 10^-7 mbar ,操作溫度為200 °C(定制最高達(dá)300 °C)。
真空室要求壁厚5-40 mm,在腔體上開一個(gè)直徑12mm的圓孔即可,注意緊貼O型圈的一面盡量光潔無(wú)劃痕。
使用光潔度高的金屬或者玻璃腔體,使VFT在超高真空應(yīng)用場(chǎng)合的表現(xiàn)得到提高。
VFT光纖過(guò)真空裝置除了在半導(dǎo)體和薄膜處理方面的應(yīng)用,還是環(huán)境檢測(cè)、藥物學(xué)處理和光學(xué)涂層生產(chǎn)的理想工具。它還可以應(yīng)用在分子束外延和化學(xué)物理的蒸汽吸附方面,可以作為配合隔空箱、手套箱和中壓裝置的性能優(yōu)異的通管。
VFT真空光纖饋通的高壓與低壓面的終端可與SMA905連接器相連接,可以簡(jiǎn)單地與聞奕光電的光纖、光源、配件共同使用,以及公司的光譜儀等光學(xué)設(shè)備。
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