棱鏡耦合測(cè)試儀利用波導(dǎo)耦合原理,測(cè)量薄膜或體材料的折射率、薄膜厚度,熱光系數(shù)以及波導(dǎo)損耗等。對(duì)電介質(zhì)及聚合物膜的膜厚和折射率 / 雙折射進(jìn)行快速及準(zhǔn)確的測(cè)量。
測(cè)試原理:
是待測(cè)樣品通過一個(gè)空氣作用的耦合探頭與棱鏡基座接觸,在薄膜與棱鏡之間產(chǎn)生一個(gè)空氣狹縫。根據(jù)查詢相關(guān)資料顯示:棱鏡耦合測(cè)試儀采用棱鏡耦合方法測(cè)試樣品折射率,可測(cè)試波長(zhǎng)633nm、935nm、1549nm處的折射率值,通過軟件做曲線耦合科求出任何波段的模擬值。
主要特點(diǎn):
1、中 / 厚膜膜厚及折射率 ( 尤其是光波導(dǎo) )測(cè)量的選擇。
2、不需要預(yù)先知道膜的厚度。
3、*的氣壓耦合方式 , 不需要加耦合液。
性能優(yōu)勢(shì):
1、極大地提高了用戶友好的控制程序 和新測(cè)量的功能,允許測(cè)量從常見到特殊的薄膜而不需依靠?jī)?nèi)部系數(shù)或菜單式校準(zhǔn)曲線。
2、不必預(yù)先知曉厚度及折射率;
3、±0.0005 常規(guī)折射率分辨率 - 尤其在大批量生產(chǎn)時(shí)比其他技術(shù)更具優(yōu)勢(shì)(可獲得更高折射率);
4、通用化 - 沒有固定的薄膜 / 基底合并菜單;
5、可測(cè)量雙膜結(jié)構(gòu)中的單膜厚度及折射率;
6、可進(jìn)行體材料或基底材料的高折射率測(cè)量;
7、快速測(cè)量薄膜或漫反射光波導(dǎo)參數(shù)(20s)。
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