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化學(xué)芯片開封機是給芯片做外科手術(shù)，通過開封我們可以直觀的觀察芯片的內(nèi)部結(jié)構(gòu)，開封后可以結(jié)合OM分析判斷樣品現(xiàn)狀和可能產(chǎn)生的原因?？刹捎秒p酸刻蝕，并利用負(fù)壓噴霧技術(shù)進行刻蝕。根據(jù)不同的器件封裝材料和尺寸，可設(shè)定不同的試驗條件，進行定位刻蝕。
化學(xué)芯片開封機主要可設(shè)置的試驗參數(shù)包括：
采用刻蝕酸的種 類、刻蝕酸的比例、蝕刻溫度、蝕刻時間、酸的流量(酸的用量)、清洗的時間等。同時采取漩渦噴酸的方式，可大 大降低用酸量，從而能夠比較地去除掉芯片表面的封裝材料，達到較好的開封效果。根據(jù)器件的不同封裝形式， 可選取不同封裝開口模具，可控制開口的位置和大小，目前配有的開口模具有多種，基本滿足目前的封裝需要，如 適用 DIP/SIP，PLCC，OFP，PBGA，芯片倒裝 BGA 和 S0 小外型封裝。
Decap即開封，也稱開蓋，開帽，指給完整封裝的IC局部腐蝕，使得IC可以暴露出來，同時保持芯片功能的完整無損, 保持 die, bond pads, bond wires乃至lead不受損傷, 為下一步芯片失效分析實驗做準(zhǔn)備，方便觀察或做其他測試(如FIB,EMMI)，Decap后功能正常。
失效分析是對所有檢驗、篩選、以及在電子系統(tǒng)上失效的元器件進行的以檢測元器件(或半產(chǎn)品)不能正常工作(失去某種功能)原因為目的的一系列試驗。失效分析是在發(fā)現(xiàn)元器件失效后進行的查找原因的過程，是以判別責(zé)任或改進工藝為目的。
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