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賽默飛ICP光譜儀以電感耦合高頻等離子體為激發(fā)光源，利用每種元素的原子或離子發(fā)射特征光譜來判斷物質(zhì)的組成，進(jìn)行元素的定性與定量分析。主要用于微量元素的分析，可分析的元素為大多數(shù)金屬以及硅、磷、硫等少量非金屬，廣泛應(yīng)用于質(zhì)量控制的元素分析。它不僅可以對超微量元素進(jìn)行檢測，還可以對常量元素進(jìn)行檢測，成為分析儀器領(lǐng)域越來越強有力的研究工具。
賽默飛ICP光譜儀分析過程主要分三步，即激發(fā)、分光和檢測。
一、激發(fā)光源使試樣蒸發(fā)汽化，離解或分解為原子狀態(tài)，原子也可能進(jìn)一步電離成離子狀態(tài)。原子及離子在光源中激發(fā)發(fā)光；
二、利用分光器把光源發(fā)射的光色散為按波長排列的光譜；
三、利用光電器件檢測光譜，按所測得的光譜波長對試樣進(jìn)行定性分析，或按發(fā)射光強度進(jìn)行定量分析。
賽默飛ICP光譜儀的維修保養(yǎng)要求：
1.儀器要有良好的使用環(huán)境。環(huán)境溫濕度變化過大儀器各部件容易受潮或者損壞，所以室內(nèi)濕度應(yīng)控制在要求范圍之間，并配備空氣凈化裝置。
2.使用中盡量減少開停機的次數(shù)，儀器頻繁開啟容易造成損壞，使用中需要倍加注意。
3.霧化器是進(jìn)樣系統(tǒng)中精密及關(guān)鍵的部分，需要很好的維護(hù)使用及定期清理，否則可能導(dǎo)致測定強度下降，儀器反射功率升高等。
4.當(dāng)實驗室內(nèi)需要采用排風(fēng)機排除儀器的熱量及工作時產(chǎn)生的氣體時，室外含有大量灰塵的空氣流入室內(nèi)，積聚在儀器的各個部位上，容易造成高壓組件或接頭打火，電路板及接線、插座等短路漏電等故障，因此需要經(jīng)常進(jìn)行除塵。
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