專門用于晶圓光刻膠去除的設(shè)備叫等離子去膠機(jī)（Plasma Stripper）、等離子灰化機(jī) （Asher），屬于等離子清洗的范疇。等離子清洗機(jī)用于在晶圓凸點(diǎn)工藝前去除污染，還可以去除有機(jī)污染、去除氟和其它鹵素污染、去除金屬和金屬氧化。

等離子清洗機(jī)解決了濕法去除晶圓表面光刻膠反應(yīng)不準(zhǔn)確、易引入雜質(zhì)等缺點(diǎn)。等離子清洗機(jī)預(yù)處理晶圓的殘留光刻膠和BCB，重新分配圖形介電層、線/光刻膠蝕刻，提高晶圓材料表面的附著力，去除多馀的塑料密封材料/環(huán)氧樹脂，還有其它的有機(jī)污染物，提高金焊料凸點(diǎn)的附著力，減少晶圓壓力破碎，提高旋轉(zhuǎn)涂膜的附著力

作為干法清洗的等離子清洗機(jī)可控性強(qiáng)，一致性好，不僅能去除光刻膠有機(jī)物，而且還活化和粗化晶圓表面，提高晶圓表面浸潤(rùn)性

等離子清洗機(jī)-典型應(yīng)用：

【1】光刻膠灰化、除膠、硅片清洗；

【2】焊線前的芯片清洗，倒裝芯片底層填充，PCB去污；

【3】生物醫(yī)學(xué)涂層前的采用等離子清洗機(jī)進(jìn)行表面處理，提高醫(yī)療植入物的親水性；

【4】環(huán)氧樹脂粘接前的光學(xué)器件、玻璃、纖維頭和基材清洗；

【5】PDMS、微流控芯片、玻璃片和芯片上的實(shí)驗(yàn)室；

【6】等離子清洗機(jī)能提高金屬與金屬或復(fù)合材料的粘合度；

【7】等離子清洗機(jī)能提高塑料、聚合物和復(fù)合材料的粘接性；

去除光刻膠、表面處理、親水處理、微流控、PDMS鍵合用等離子清洗機(jī)，不需要有機(jī)溶劑，對(duì)環(huán)境也沒(méi)有污染，屬于低成本的綠色清洗方式