一文與您分享掃描電子電鏡的詳細操作方法

來源：津鈉儀器(上海)有限公司 2023年03月13日 10:23

　　掃描電子電鏡（SEM）是利用電子束來照射樣品表面，然后通過接收電子束的信號，產(chǎn)生高分辨率的圖像的一種現(xiàn)代化的分析工具。本文將介紹掃描電子電鏡的操作方法：

　　1.準備工作

　　（1）確保設(shè)備能正常運行；

　?。?）準備樣品并安裝好；

　?。?）檢查探針長度是否恰當(dāng)；

　　（4）檢查吸附泵是否處于運行狀態(tài)。

　　2.調(diào)整SEM

　　在進行掃描電子顯微鏡之前，您需要確保設(shè)備已被校準和調(diào)整。這包括：

　?。?）調(diào)整顯微鏡，以獲得聚集的電子束；

　?。?）確定樣品表面的中心位置；

　?。?）校準電子束的縮放比例和對焦位置；

　?。?）確定合適的操作條件，如加速電壓、溫度和壓力。

　　3.開始掃描

　　完成了調(diào)整后，您可以啟動SEM掃描。這包括：

　?。?）將加速電壓設(shè)置為適當(dāng)?shù)闹狄钥刂齐娮邮囊龑?dǎo)；

　?。?）將樣品聚焦在所選方向上，并調(diào)整探針的偏移量；

　?。?）調(diào)整電子束的形狀和大小以獲得最佳的分辨率；

　?。?）清潔測試區(qū)以確保清晰的掃描圖像。

　　4.獲取掃描圖像

　　當(dāng)SEM充分調(diào)整后，您可以開始獲取掃描圖像。此過程包括：

　　（1）確定光學(xué)顯微鏡和掃描電鏡之間的交互；

　?。?）將光標移至圖像上，以捕獲其表面項目的細節(jié)；

　?。?）調(diào)整掃描速度和樣品位置，以獲得更全面的圖像。

　　5.瀏覽和保存樣品

　　然后您需要將樣品從顯微鏡中拆出并安排保存。這可以通過在以下過程中完成：

　　（1）檢查樣品的表面質(zhì)量和精細度；

　　（2）檢查樣品的軟件屬性，并進行分析和處理；

　?。?）將樣品歸檔在電子顯微鏡圖像庫中。

　　結(jié)論

　　掃描電子顯微鏡是一種現(xiàn)代化的分析工具，在許多領(lǐng)域中起著關(guān)鍵作用。這篇文章介紹了操作的過程和感興趣的方面，以幫助您更好地理解其原理和工作方法。

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