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透射電鏡液體光學(xué)原位系統(tǒng)運(yùn)用的技術(shù)有哪些?

來源:廈門超新芯科技有限公司   2023年03月23日 08:41  
  透射電鏡液體光學(xué)原位系統(tǒng)采用MEMS微加工工藝在原位樣品臺(tái)內(nèi)構(gòu)建液氛納米實(shí)驗(yàn)室,通過樣品臺(tái)內(nèi)置的光纖將光作為外場(chǎng)條件搭載其上,通過MEMS芯片和光纖引入的光源對(duì)樣品施加光場(chǎng)刺激條件,在進(jìn)行光學(xué)性質(zhì)測(cè)量的同時(shí),結(jié)合使用EDS、EELS、SAED、HRTEM、STEM等多種不同模式,實(shí)現(xiàn)從納米甚至原子層面實(shí)時(shí)、動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)樣品在液氛環(huán)境中隨光場(chǎng)變化產(chǎn)生的微觀結(jié)構(gòu)演化、反應(yīng)動(dòng)力學(xué)、相變、元素價(jià)態(tài)、化學(xué)變化、微觀應(yīng)力以及表/界面處的原子級(jí)結(jié)構(gòu)和成分演化等關(guān)鍵信息。
  實(shí)驗(yàn)中,樣品被密封在超薄氮化硅薄膜覆蓋的液體池內(nèi),池內(nèi)可以承載一個(gè)大氣壓。芯片電極聯(lián)通外接電路,從而在中搭建一個(gè)液體-電化學(xué)測(cè)試環(huán)境。
  透射電鏡液體光學(xué)原位系統(tǒng)采用的技術(shù)有:
  1、高分子膜面接觸密封技術(shù),相比于o圈密封,增大了密封接觸面積,有效減小滲漏風(fēng)險(xiǎn)。
  2、納流控技術(shù),通過壓電微控系統(tǒng)進(jìn)行流體微分控制,實(shí)現(xiàn)納升級(jí)微量流體輸送,原位納流控系統(tǒng)及樣品桿中冗余的液體量?jī)H有微升級(jí)別,有效保證電鏡安全。
  3、超高溫鍍膜技術(shù),芯片視窗區(qū)域的氮化硅膜具有耐高溫低應(yīng)力耐壓耐腐蝕耐輻照等優(yōu)點(diǎn)。
  4、多場(chǎng)耦合技術(shù),可在液相環(huán)境中實(shí)現(xiàn)光、電、熱、流體多場(chǎng)耦合。

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