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技術(shù)參數(shù)：
1. 真空室：∅220mm*H400mm；
2. 可鍍最大工件尺寸：60*60mm,配抽拉式樣品臺， 樣品可旋轉(zhuǎn)；另配備銅基板樣品臺；
3. 真空系統(tǒng)：機械泵+分子泵抽氣系統(tǒng)； 極限真空度：優(yōu)于 5*10-5Pa；
4. 抽氣時間：大氣壓~8*10-4Pa 小于 30min；
5. 蒸發(fā)：電阻式蒸發(fā)電極（1 對），可達到 1800℃（只要熔點低于 1600 度的都可以蒸鍍）功率：2KW；
6. 開啟方式：正面開門結(jié)構(gòu)，便于換絲及裝料；
7. 水冷循環(huán)系統(tǒng) 0.5P；
注：可根據(jù)用戶需要進行配置調(diào)整！
2. 可鍍最大工件尺寸：60*60mm,配抽拉式樣品臺， 樣品可旋轉(zhuǎn)；另配備銅基板樣品臺；
3. 真空系統(tǒng)：機械泵+分子泵抽氣系統(tǒng)； 極限真空度：優(yōu)于 5*10-5Pa；
4. 抽氣時間：大氣壓~8*10-4Pa 小于 30min；
5. 蒸發(fā)：電阻式蒸發(fā)電極（1 對），可達到 1800℃（只要熔點低于 1600 度的都可以蒸鍍）功率：2KW；
6. 開啟方式：正面開門結(jié)構(gòu)，便于換絲及裝料；
7. 水冷循環(huán)系統(tǒng) 0.5P；
注：可根據(jù)用戶需要進行配置調(diào)整！
設(shè)備結(jié)構(gòu)介紹：
該設(shè)備由真空室、真空機組和電氣系統(tǒng)組成
1. 真空室
圓形形腔體，側(cè)部抽氣，正面開門。不銹鋼材質(zhì)，配 DN60 觀察窗（含防污擋板）、預抽接口、充氣接口； 內(nèi)部有底板、蒸發(fā)源等；
2. 真空系統(tǒng)及進氣
采用 110L 分子泵+4L 旋片式機械泵。采用真空波紋管連接，配有復合式數(shù)顯真空測量儀表。
3. 電氣系統(tǒng)
電氣系統(tǒng)包括真空機組控制、蒸發(fā)與烘烤控制、真空測量控制等部分組成。有安全互鎖機構(gòu)，有效防止誤操作發(fā)生。系統(tǒng)配有 1 套蒸發(fā)電源，數(shù)顯。
4. 膜厚測量裝置：采用石英晶振膜厚儀及水冷探頭一套（選配）。
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