燒結爐是指使粉末壓坯經(jīng)過燒結獲得所需的物理、力學性能以及微觀結構的專用設備。燒結爐用于烘干硅片上的漿料、去除漿料中的有機成分、完結鋁背場及柵線燒結。

　　負壓脫脂是一邊流量計往爐內(nèi)充氣體，一邊滑閥泵抽，在升溫中運用氣流來把粘結劑從產(chǎn)品中脫除。真空內(nèi)燒是不充氣體，滑閥泵一直抽，爐體升溫，在真空中燒結。分壓燒結時充入氣體維持一定的壓力，爐體升溫，在分壓中燒結。強制冷卻是快速充入氣體，風機打開，運用氣體在爐內(nèi)循環(huán)，經(jīng)過冷卻水把熱量帶走。

　　為了確保粉末壓坯在燒結過程中的脫蠟（潤滑劑或成形劑）、還原、合金化、組織轉變等順利進行，燒結時需求對燒結溫度、維護氣氛、壓坯傳送方式、加熱和冷卻速度等進行準確的控制。

　　因此，燒結爐在結構上應滿意以下要求：具有完善的潤滑劑燒除設備（俗稱脫蠟帶）。具有氣密性，即能阻隔爐外空氣并確保爐內(nèi)維護氣氛暢通。爐內(nèi)的各段溫度可控，燒結氣氛可調(diào)具有快速冷卻設備，可將燒結零件快速冷卻到出爐溫度而不會氧化。