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勻膠旋涂儀在勻膠過程中可能會出現(xiàn)的問題?

來源:華儀行(北京)科技有限公司   2023年05月28日 20:53  
  勻膠旋涂儀通過在片材保持器上產(chǎn)生負壓來吸收待旋涂在片材固定器上的基材,并且膠滴到基材表面上。離心力通過精確調(diào)節(jié)電機的轉(zhuǎn)速而改變。同時,膠水流由滴膠裝置控制,以達到薄膜制備所需的厚度。此外,膜厚度還取決于環(huán)境因素,如旋涂時間、膠水粘度、殘余涂層溫度和濕度。勻膠旋涂儀廣泛應用于I砸EMS微加工,生物,材料等領(lǐng)域,它可以用來制備厚度小于10納米薄膜。也常應用在約1-100微米厚光刻膠沉積層的光刻工藝中。在使用過程中勻膠工藝常見問題有:
  1、表面出現(xiàn)氣泡可能原因:滴膠時膠中帶有氣泡;噴嘴*端切囗有問題或帶刺問題
  2、四周呈現(xiàn)放射狀條紋可能原因:膠液噴射速度過高;設備排氣速度過高;膠涂覆前靜止時間過長;勻膠機轉(zhuǎn)速或加速度設置過高;片子表片留有小顆粒膠中有顆粒
  3、中心出現(xiàn)漩渦圖案可能原因:設備排氣速度過高;噴膠時膠液偏離襯底中心;旋圖時間過長;加速度過高
  4、中心出現(xiàn)圓暈可能原因:不合適的托盤,噴嘴偏離襯底中心
  5、膠液未涂滿襯底可能原因:給膠量不足;不合適的勻膠加速度
  6、出現(xiàn)針孔現(xiàn)象可能原因:空氣中粉塵;光刻膠內(nèi)存在顆粒或氣泡;襯底上存在顆粒

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