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某半導(dǎo)體工廠在生產(chǎn)線上氣體輸送環(huán)節(jié)的氣體管路系統(tǒng)采用伯東 HVA 不銹鋼真空閘閥 11000 ，作為真空隔離密封.
HVA 不銹鋼真空閘閥 11000 系列標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)規(guī)格:
閥門材質(zhì): | |
- 閥門主體 | 304 不銹鋼 |
- 焊接波紋管軸封 | AM - 350 |
閥門密封方式 | |
- 高真空 | 氟橡膠 |
- 超高真空 | 銅墊圈 / 氟橡膠 |
真空: | |
- 壓力范圍 | 高真空 1x10-9 mbar, 超高真空 1x10-10 mbar |
- 漏率 | < 2x10-9 mbar l/S |
- 差壓關(guān)閉 | 1 bar ( 任意位置 ) |
- 開啟前壓力 | ≤ 30 mbar |
烘烤溫度（不含電磁閥）: | |
- 彈性體密封閥蓋 | 150°C |
- 金屬密封閥蓋 | -開啟溫度：200°C -關(guān)閉值：150°C |
- 驅(qū)動方式 | 手動 60 °c, 氣動 60 °c |
機(jī)制 | |
手動： | 手搖曲柄 |
電磁閥供電電壓 | 120 VAC 50 /60 Hz |
電磁閥可選電壓 | 24, 200, 240 VAC 50/60 Hz |
電磁閥位置指示器 | 115 VAC |
氣動送風(fēng)： | 80 psig |
使用壽命: 100,000 啟閉次數(shù) (具體視實際使用情況決定) | |
公稱通徑: DN 16 - 800 mm | |
HVA 是真空技術(shù)創(chuàng)新者的真空閥門(插板閥), 是高真空閥門的主要制造商和供應(yīng)商.
在設(shè)計真空系統(tǒng)時, 可以輕松集成 HVA 閥門. HVA 閘閥從5/8英寸（16毫米）到32英寸（800毫米）, 而矩形/狹縫閥的距離為80英寸（2m）, 可以滿足您的真空閥門(插板閥)要求. 無論您是升級現(xiàn)有的真空系統(tǒng)還是 OEM 設(shè)計新的系統(tǒng), HVA 都可以提供經(jīng)濟(jì)高效的替代閥門解決方案.
HVA 真空閥門(插板閥)的閥體和所有主要內(nèi)部組件都是內(nèi)部釬焊的真空爐, 消除了虛擬泄漏的可能性, 閥體變形最小化.
40多年來, HVA 一直在建造業(yè)內(nèi)質(zhì)量高, 設(shè)計好的真空閥門(插板閥). HVA 代表著質(zhì)量, 工程, 定制和服務(wù).
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上海伯東 : 羅先生
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