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HVA 真空閥門 11000 用在 OLED 鍍膜機

來源:伯東企業(yè)(上海)有限公司   2023年07月05日 11:55  

國內某 OLED 鍍膜機廠家配置伯東美國 HVA 真空閥門 11000 系列,尺寸以 4”, 6”, 8”閥門口徑為主的標準不銹鋼氣動高真空閘閥,
 

HVA 不銹鋼真空閘閥 11000 系列標準技術規(guī)格: 

 閥門材質:

 - 閥門主體

 304 不銹鋼

 - 焊接波紋管軸封

 AM - 350

 閥門密封方式

 - 高真空

 氟橡膠

 - 超高真空

 銅墊圈 / 氟橡膠

 真空:

 - 壓力范圍

 高真空 1x10-9 mbar, 超高真空 1x10-10 mbar

 - 漏率

 < 2x10-9  mbar l/S

 - 差壓關閉

 1 bar ( 任意位置 )

 - 開啟前壓力

 ≤ 30 mbar

 烘烤溫度(不含電磁閥):

 - 彈性體密封閥蓋

 150°C

 - 金屬密封閥蓋

-開啟溫度:200°C

-關閉值:150°C

 - 驅動方式

 手動 60 °c, 氣動 60 °c

機制

手動:

手搖曲柄

電磁閥供電電壓

 120 VAC 50 /60 Hz

電磁閥可選電壓

 24, 200, 240 VAC 50/60 Hz
 或 12, 24 VDC

 電磁閥位置指示器

 115 VAC
 或 28 VDC, 20 mA

氣動送風:

80 psig

 使用壽命: 100,000 啟閉次數(shù) (具體視實際使用情況決定)

 公稱通徑: DN 16 - 800 mm

 

下圖是某 OLED 鍍膜機廠家配置上海伯東美國 HVA 高真空閥門

超高真空閘閥

 

OLED 鍍膜機主要面向有機半導體照明客戶, 需要鍍膜機性能更穩(wěn)定, 器件效率更高, 性價比高,

對于生產 OLED 鍍膜機的客戶, 為了節(jié)省抽空時間和防止基片的污染, 會選擇在 LOADLOCK 與主腔間進行快速傳樣, 由于兩腔室工作的真空度要求不同, 會在腔室之間增加高真空閥門來隔離系統(tǒng).

 

伯東美國 HVA 真空閥門已廣泛應用于 OLED 鍍膜機
 

若您需要進一步的了解詳細產品信息或討論 , 請參考以下聯(lián)絡方式 :

上海伯東 : 羅先生      


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