精密大理石行業(yè)發(fā)展至今也只有20-30年的時(shí)間,90年代我國(guó)一些關(guān)鍵行業(yè)受到國(guó)外限制,當(dāng)時(shí)的中國(guó)工業(yè)生產(chǎn)比較落后,很多科技發(fā)展先進(jìn)國(guó)家都在發(fā)展高性能的材料來(lái)滿足行業(yè)的需求,但是中國(guó)沒(méi)有相關(guān)技術(shù),所以國(guó)家的一部分研究院所和國(guó)有企業(yè)等單位開(kāi)始研制適用性強(qiáng),性價(jià)比高的材質(zhì)——大理石。中國(guó)也作為最早的國(guó)家之一,開(kāi)始使用大理石作為標(biāo)準(zhǔn)件和配件,大理石已經(jīng)成為我國(guó)一個(gè)傳統(tǒng)行業(yè)發(fā)展至今。
無(wú)孔大理石臺(tái)面
大約10年前,大部分精密加工行業(yè)都還在使用鑄鐵件,但是當(dāng)時(shí)很多高精密行業(yè)的產(chǎn)品需求已經(jīng)從毫米級(jí)別慢慢轉(zhuǎn)向微米級(jí)別。鑄鐵平臺(tái)受到自身材料特性限制,很難達(dá)到微米級(jí)別,即使加工到微米級(jí)別,受限于自身熱脹冷縮特性影響,無(wú)法滿足復(fù)雜環(huán)境下的實(shí)際使用需求。而大理石會(huì)不會(huì)受熱脹冷縮的影響呢?答案是肯定會(huì),只是大理石熱膨脹系數(shù)小,穩(wěn)定性比較好,其形態(tài)變化不影響使用。舉例:使用相同規(guī)格的鑄鐵平臺(tái)和大理石平臺(tái),鑄鐵平臺(tái)的變化是大理石的5-10倍。
大理石平臺(tái)主要由石英或長(zhǎng)石等礦物組成,經(jīng)長(zhǎng)期天然時(shí)效,組織結(jié)構(gòu)均勻,線脹系數(shù)極小,內(nèi)應(yīng)力消失,不易變形。大理石平臺(tái)具備精度高、硬度高、耐磨性強(qiáng)、不怕酸鹼液物侵蝕、不會(huì)生銹、不必涂油、不易粘微塵、維護(hù)保養(yǎng)方便簡(jiǎn)單、使用壽命長(zhǎng)等優(yōu)良性能,通常作為精密測(cè)量的基準(zhǔn)面,已逐步替代鑄鐵平臺(tái)被廣泛使用在工業(yè)與科研等各個(gè)領(lǐng)域,如精密微加工、航空航天、晶圓檢測(cè)、精密儀器檢測(cè)檢測(cè)等實(shí)驗(yàn)。也經(jīng)常作為三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x,高精度顯微鏡、主動(dòng)隔振平臺(tái)等設(shè)備的基座。
由于大理石平面度高的特性,我們常用來(lái)作為一些大型光學(xué)或者機(jī)械方面實(shí)驗(yàn)的標(biāo)準(zhǔn)平臺(tái),將該平面度作為基準(zhǔn)進(jìn)行檢驗(yàn)與測(cè)量,因此平面度和尺寸是至關(guān)重要的兩個(gè)指標(biāo)。
我國(guó)大理石平板的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定:平板的精度等級(jí)劃分為六級(jí):000、00、0、1、2、3 級(jí),其中000—2 級(jí)為檢驗(yàn)平板,3級(jí)為劃線平板。
大理石級(jí)別的標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)算法:
000 級(jí)=1×(1+d/1000)um
00 級(jí)=2×(1+d/1000)um
0 級(jí)=4×(1+d/1000)um
1 級(jí)=8×(1+d/1000)um
大理石等級(jí)計(jì)算
(d 為對(duì)角線 mm)(測(cè)量溫度一般在 20±2℃)
舉例說(shuō)明:例如A=300mm B=400mm 那么 D=500mm
00級(jí)別的算法根據(jù):2×(1+d/1000)um 即:2*(1+500/1000)=3um 意思是說(shuō) 300*400 的平臺(tái)要想到達(dá)00級(jí)的精度我們研磨出來(lái)的數(shù)據(jù)一定要在3μm以內(nèi)。
帶螺紋孔的大理石臺(tái)面
我公司可提供的大理石平臺(tái)尺寸,從300mm×300mm的大理石面板到4000mm×2000mm的大理石平臺(tái)都可覆蓋,并且可以定制特殊尺寸,如異形平臺(tái)和龍門系統(tǒng),也可以拼接超長(zhǎng)大理石平臺(tái),或打孔鑲嵌鋼套便于固定設(shè)備。
阻尼支架與氣浮支撐單元
作為平臺(tái)產(chǎn)品,大理石臺(tái)面可以配阻尼和氣浮支架,阻尼支架選擇我公司整體焊接支架配合雙頻阻尼隔振器,固有頻率為6-12Hz,具有一定的隔振效果。也可以配大負(fù)載氣浮隔振器,固有頻率為1.2-1.7Hz,該隔振器單個(gè)負(fù)載500Kg~3000Kg,因此可以承重大尺寸大理石臺(tái)面和其他較重的設(shè)備。
4000mm×6000mm拼接大理石平臺(tái)應(yīng)用案例
北京卓立漢光儀器有限公司自主研制的大理石平臺(tái),因其材質(zhì)穩(wěn)定,受溫度影響小、耐腐蝕、無(wú)磁性等優(yōu)良性能,受到科研和工業(yè)用戶的廣泛認(rèn)可,隨著研制技術(shù)的提升,大理石平臺(tái)將在更多領(lǐng)域發(fā)揮價(jià)值。
卓立漢光具有多種大理石平臺(tái)解決方案,該產(chǎn)品可以定制尺寸,可以拼接,按照實(shí)際需求進(jìn)行打孔,配阻尼和氣浮支架組成大理石隔振平臺(tái),如需了解產(chǎn)品,歡迎咨詢我司。
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